[发明专利]带有感应晶圆花篮功能的起吊装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，用于半导体清洗设备中。

背景技术

目前，在半导体清洗设备中，晶圆花篮的起吊装置上没有感应器，不能自动控制，运行中常会出现该钩住时没钩住，该脱钩时没脱钩的情况发生，会使晶圆脱落而造成损失。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、能实现自动化控制并且自动感应晶圆花篮的起吊装置。

实现本发明目的的技术方案是：一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，包括机械手吊钩和花篮承载筐，机械手吊钩的两侧均设置有至少两个以上的钩部，花篮承载筐上设置有与钩部相配的凸起部，至少一个钩部内固定有传感器，相应的凸起部内固定有与传感器相配的感应块。

采用了上述技术方案后，当钩部勾起凸起部时，传感器与感应块接触很近，传感器感应到感应块，发信号给控制单元，确认钩住花篮承载筐，然后控制单元发指令给机械手提升起花篮承载筐，即吊起花篮承载筐动作完成；当钩部与凸起部脱离时，传感器感应不到感应块，传感器发信号给控制单元，确认机械手吊钩空载，可以提升，即花篮承载筐脱钩成功，本发明的钩部两侧各设置为两个以上，两个以上的钩部形成一个面，钩取花篮承载筐更加稳定可靠，本发明结构简单，并且具有自动感应晶圆花篮是否钩住的功能，起到一定的防护作用，通过控制单元便能实现自动化控制，不需要人工干预，降低了成本，提高了生产效率。

附图说明

图1为本发明的带有感应晶圆花篮功能的起吊装置的结构立体图。

具体实施方式

为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，

如图1所示，一种带有感应晶圆花篮功能的起吊装置，包括机械手吊钩1和花篮承载筐2，机械手吊钩1的两侧均设置有至少两个以上的钩部1-1，花篮承载筐2上设置有与钩部1-1相配的凸起部2-1，至少一个钩部1-1内固定有传感器3，相应的凸起部2-1内固定有与传感器3相配的感应块4。

本发明的工作原理如下：

采用了上述技术方案后，当钩部1-1勾起凸起部2-1时，传感器3与感应块4接触很近，传感器3感应到感应块4，发信号给控制单元，确认钩住花篮承载筐2，然后控制单元发指令给机械手提升起花篮承载筐2，即吊起花篮承载筐2动作完成；当钩部1-1与凸起部2-1脱离时，传感器3感应不到感应块4，传感器3发信号给控制单元，确认机械手吊钩1空载，可以提升，即花篮承载筐2脱钩成功，本发明的钩部1-1两侧各设置为两个以上，两个以上的钩部1-1形成一个面，钩取花篮承载筐2更加稳定可靠，本发明结构简单，并且具有自动感应晶圆花篮的是否钩住的功能，起到一定的防护作用，通过控制单元便能实现自动化控制，不需要人工干预，降低了成本，提高了生产效率。

以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。