[发明专利]一种薄膜型LED制备的方法无效
申请号: | 201210152106.4 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN102651432A | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 李喜峰;李倩;王万晶;张建华 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/14 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人: | 何文欣 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 led 制备 方法 | ||
1.一种薄膜型LED制备的方法,其特征在于制备工艺步骤如下:
a.蓝宝石外延片的生长:
在蓝宝石衬底(1)上采用金属有机相外延方法依次沉积低温氮化镓GaN层(2),本征GaN层(3),n型GaN层(4),量子阱MQW层(6)和P型GaN层(2);
b.蓝宝石外延片的清洗:
将蓝宝石外延片依次在异丙醇及丙酮中超声清洗10±1 min;去离子水冲洗;在混合酸溶液--硫酸:双氧水:去离子水的比列为5:5:1中,常温浸泡15±1 min;再在稀盐酸溶液--体积分数为20%中,常温浸泡5±0.5 min;最后用去离子水超声清洗10±1min;氮气吹干;
c.采用溶胶凝胶提拉法,制备LED器件的电流扩散层-镓掺杂的氧化锌GZO薄膜(8),具体操作步骤如下:
(1)首先在一个200±20ml的玻璃烧杯中,将0.04±0.002mol的2水醋酸锌以及0.0006±0.0001mol的5.5水合硝酸镓放入烧杯,将150±10ml的无水甲醇倒入烧杯中,再逐滴加入0.045±0.002mol的单乙醇胺;磁力搅拌至全部溶解后,水浴60±5℃并在磁力搅拌的情况下保温1±0.2个小时;将温度提高到70~100℃进行溶剂蒸发直到剩余溶液的体积为原来溶液体积的20~80%;室温时效6±0.2小时,冰箱冷藏42±0.5小时,形成溶胶;
(2) 电流扩散层镓掺杂氧化锌薄膜(8)的制备:
在室温下,在蓝宝石外延片上行拉膜:浸润在步骤(1)中制备的溶胶1±0.1min后,以65±5mm/min的速度进行提拉;每提拉完一层膜之后,将薄膜在红外灯下烘烤30±0.5min,再进行500±50℃快速退火15±0.5min,完成一次薄膜的提拉烘干过程;再重复以上步骤6次,以达到200±20nm厚度的镓掺杂的氧化锌薄膜(8),最后将薄膜时效两天,600±50℃真空退火1±0.1h;
(3)采用Ar离子干法刻蚀电流扩散层,最终即得到完整的LED器件。
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