[发明专利]一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种平板显示领域，尤其涉及到一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备。

背景技术

如图1所示加热器为现有技术中的结构示意图，图中由箱体1、基片架2、加热器3、导杆4、传动轮5构成。

目前的镀膜设备采用双面镀膜的方式，设备有正反两面区分，设备两边同时装有靶材，且装载玻璃的基片架也分正反两面，加热器装在真空室中心位置，上下为一个整体式，采用吊装方式悬空挂起，在镀膜过程中，在基片架的正反面分别装载玻璃，镀膜时装有玻璃的基片架在真空室内行走，基片架的正反面分别位于中间加热器的两侧，经过靶区通过磁控溅射的方式进行镀膜，这种方式一次只能镀玻璃的一面，如果玻璃的另外一面也需要镀膜，则必须镀完玻璃一面后，将镀完一面的玻璃重新经过清洗，然后再次经过真空室进行镀膜，即镀膜工序要重复两次才能完成，这样不但浪费人力、财力、产量低而且玻璃经过多次周转后其良率也会大大下降，而且由于加热器是整体式，如果基板受热不均匀时，无法进行局部温度调整。因此现有技术相比较本发明而言存在以下不足之处：

①加热器位于腔体中间位置，在基片架行走过程中，基片架两侧的玻璃分别位于加热器的两侧，这样每次只能完成玻璃基板一个表面的膜层制备；

②每个腔体内的加热器上下为一整体式，对于玻璃基板出现的温度不均匀现象，无法采取分段式控制的方式来调节温度；

③基片架的设计本身分正反两面，在镀膜过程中，玻璃基板分别装载在基片架的两侧，对于需要一次性完成玻璃基板两个表面的膜层制备工作时，该基片架无法调节，其功能比较单一。

整个真空腔体的结构设计，一次只能完成玻璃基板单面的膜层制备，如果玻璃基板两个表面均需要制备膜层，现有技术的做法只能是制备完玻璃基板一个表面的膜层后，将玻璃基板再重复第一次镀膜的工序去完成第二面膜层的制备，这种工艺在第二次制备膜层的过程中，会对第一次膜层的性能有所影响，并且由于二次镀膜会造成良率的下降，总体生产成本较高。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于提供了一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备。

为解决上述技术问题，本发明通过以下方案来实现：一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体、基片架、加热器、导杆、传动轮、上横梁、下横梁构成，所述加热器位于箱体两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器，加热器的数量是常规设计的1.5倍，且加热器采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀。

所述基片架具备多种功能，根据不同产品的要求可以调整基片架来满足，一方面该基片架可以实现设备两边同时上片镀膜，即可以实现现有技术的功能；另一方面通过对基片架框架结构的调整，可以实现玻璃基板两面同时镀膜的功能，即单片玻璃的双面膜层的同步制备。

所述基片架分别卡在上横梁与下横梁两侧，实现单面镀膜。

所述基片架改成位于上横梁与下横梁中间，用卡具卡住固定，实现双面镀膜。

所述加热器采用上、中、下分段式加热。

该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备的正反两面的靶位采用错位排布，可以避免两边同时溅射时，正对靶位之间的干扰。

此发明可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备是一种产量高、可同时完成基板两面膜层的制备，适用于各种双面膜产品，其制造成本远低于现有技术，通过真空腔体内部结构的改善，采取多功能基片架，其所生产产品不仅含盖了现有技术，最主要的是解决了现有技术无法完成基板两面同时镀膜的缺陷，降低了双面膜产品的生产成本尺寸，提高了生产效率和产品的良率，其设计思路具有领先地位。

附图说明

以下结合附图对本发明作详细说明

图1为现有技术的结构示意图；

图2为本发明单面镀膜结构示意图；

图3为本发明双面镀膜结构示意图。

具体实施方式

如图2、图3所示可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备，该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备由箱体1、基片架2、加热器3、导杆4、传动轮5、上横梁6、下横梁7构成，所述加热器3位于箱体1两侧真空室壁上，如图2所示传动轮5与下横梁7连接，基片架2分别卡在上横梁6与下横梁7两侧，实现单面镀膜，如图3所示基片架2改成位于上横梁6与下横梁7中间，用卡具8卡住固定，实现双面镀膜，加热器3采用上、中、下分段式加热。