[发明专利]一种双探测生化传感检测仪的传感芯片及其制备方法

权利要求书

1.一种传感芯片，其特征在于，所述传感芯片包括K*L陈列的传感芯片单元，传感芯片单元包括：衬底（31）以及与其键合在一起的上片（32）；形成在上片（32）内构成微流通道的进口、出口（33）及微腔（34）；形成在衬底上并处于微腔内的m*n阵列的纳米颗粒（35）；其中，m、n、K和L为自然数。

2.如权利要求1所述的传感芯片，其特征在于，所述传感芯片单元的尺寸范围在几十微米到几微米之间。

3.如权利要求1所述的传感芯片，其特征在于，所述纳米颗粒的尺寸范围在几十纳米到几百纳米之间，纳米颗粒之间的间距范围在几十纳米到几百纳米之间。

4.如权利要求1所述的传感芯片，其特征在于，所述纳米颗粒为金或银等贵重金属颗粒，形状为球形、椭球形、纳米狭缝以及纳米孔中的一种。

5.如权利要求1所述的传感芯片，其特征在于，所述衬底的材料为K9玻璃、石英玻璃、聚二甲硅氧烷PDMS、聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、聚苯乙烯PS等透明材料中的一种。

6.如权利要求1所述的传感芯片，其特征在于，所述上片的材料为聚二甲硅氧烷PDMS或聚甲基丙烯酸甲酯PMMA。

7.如权利要求1所述的传感芯片，其特征在于，所述微腔的体积范围在几微升到几十微升之间，其形状可以是球形或立方形。

8.如权利要求7所述的传感芯片，其特征在于，在所述微流通道的宽度范围在10微米到200微米之间，深度范围在50微米到200微米之间。

9.一种传感芯片单元的制备方法，其特征在于，所述传感芯片单元的制备方法包括以下步骤：

1）提供透明的衬底；

2）在衬底上形成m*n阵列的纳米颗粒，m和n为自然数；

3）用光刻方法加工上片，在其内形成由进口、出口及微腔构成的微流通道；

4）将上片和衬底键合在一起，形成传感器芯片单元。

10.如权利要求9所述的制备方法，其特征在于，在步骤2）中，通过电子束光刻、纳米压印、化学合成、电子束蒸发、干涉光刻、纳米掩膜等方法形成纳米颗粒。