[发明专利]12杆二维无耦合微位移工作台

权利要求书

1.12杆二维无耦合微位移工作台，其特征在于：包括基板（1），所述基板（1）中部设有贯通的空腔，所述空腔中部设有工作台（6），工作台（6）的周边分别均布连接着四根内层柔性铰链杆（5）的一端，每根内层柔性铰链杆（5）的另一端连接着驱动支座（3）的内端，且其中两根内层柔性铰链杆（5）沿X方向对称分布，另两根内层柔性铰链杆（5）沿Y方向对称分布；每个驱动支座（3）的两侧分别连接着外层柔性铰链杆（2）的一端，两侧的外层柔性铰链杆（2）的另一端分别连接着基板（1）上空腔的侧壁，两侧的外层柔性铰链杆（2）在同一直线上，且垂直于驱动支座（3）内端的内层柔性铰链杆（5）；与每个驱动支座（3）外端对应的所述空腔的侧壁上分别设有凹槽（7），所述空腔的侧壁上共有四个凹槽（7），其中相邻的两个凹槽（7）内分别设有电致伸缩器件（4），电致伸缩器件（4）的一端与驱动支座（3）的外端接触，另一端与凹槽（7）的侧壁接触。

2.根据权利要求1所述的12杆二维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述工作台（6）为正方形板状，每一侧面中部分别连接着一根内层柔性铰链杆（5）的一端。

3.根据权利要求1所述的12杆二维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述驱动支座（3）为矩形板状，其内侧面与内层柔性铰链杆（5）的另一端连接，两侧面分别连接着外层柔性铰链杆（2）的一端，外侧面与所述空腔的凹槽（7）对应。

4.根据权利要求1所述的12杆二维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述电致伸缩器件（4）型号为PAS005或PAS020，行程20μm；或者型号为PAS009、或PAS040，行程40μm。