[发明专利]一种硅片直线交换装置及方法

权利要求书

1.一种硅片直线交换装置，用于在工作台和外部装置之间传输物料，其特征在于，包括

导轨；

设置于所述导轨之上的第一滑块、第二滑块，所述第一、第二滑块能够沿所述导轨作交错往复运动；

第一机械臂，所述第一机械臂通过机械臂转接件连接所述第一滑块；以及

第二机械臂，所述第二机械臂连接所述第二滑块，所述第一机械臂、第二机械臂处于两个不同的相互平行的运动平面。

2.如权利要求1所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述第一、第二滑块上分别设有驱动机构，所述驱动机构为直线电机。

3.如权利要求1所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述硅片直线交换装置还包括一用于防止所述第一、第二机械臂在运动过程中产生的颗粒物质向外扩散的密封单元。

4.如权利要求3所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述密封单元包括

密封单元基架，所述密封单元基架上沿所述第一、第二机械臂运动方向设有两条形槽，所述第一、第二机械臂穿设于所述条形槽中沿条形槽运动；

磁性密封吸条，安装于所述密封单元基架面向所述导轨一侧；

两块密封导块，分别连接所述第一机械臂、第二机械臂，且紧贴所述磁性密封吸条，所述密封导块设有凹槽，所述第一机械臂、第二机械臂设有与所述凹槽相配合的通孔；

密封片，从所述密封导块的凹槽与对应机械臂上的通孔中穿过并吸附于所述磁性密封吸条上；

所述第一机械臂、第二机械臂带动所述密封导块在所述磁性密封吸条和所述密封片之间移动，并保持所述密封导块两侧的密封片始终吸附于所述磁性密封吸条。

5.如权利要求4所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述密封片为厚度0.1mm~0.3mm的金属片。

6.如权利要求4所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述密封片和所述密封导块之间还设有聚氨酯密封垫。

7.如权利要求4所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述密封单元还包括下密封板，所述下密封板连接于所述密封单元基架，位于所述导轨之下。

8.如权利要求1所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述硅片直线交换装置还包括RZ向调节单元，所述RZ向调节单元包括定位销、基座、两组推移螺钉，所述定位销将所述直线交换装置的主体定位于所述基座上，所述推移螺钉设于所述基座，一端抵持所述直线交换装置的主体使其绕所述定位销的中心轴转动。

9.如权利要求1所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述硅片直线交换装置还包括RX、RY、Z向调整结构，所述RX、RY、Z向调整结构由三组螺纹调整结构组成。

10.如权利要求1所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述第一、第二机械臂采用片叉设计，且分别设有一对具有真空吸附腔的陶瓷吸盘。

11.如权利要求1所述的硅片直线交换装置，其特征在于，所述硅片直线交换装置的内部走线采用拖链结构。

12.一种硅片直线交换方法，其特征在于，采用如权利要求1～11中任意一项所述的硅片直线交换装置，工作流程如下：

第一步第一机械臂、第二机械臂都在卸片工位；

第二步第一机械臂运动到取片工位，从外部装置取片；

第三步第一机械臂返回卸片工位，等待向工作台上片，第二机械臂运动到工作工位，从工作台上取片；

第四步第二机械臂返回卸片工位，等待外部机械手从其上取片，第一机械臂运动到工作工位，向工作台下片；

第五步第一机械臂返回卸片工位，外部机械手从第二机械臂上取片。