[发明专利]用于切削硬脆材料的加工组成物及切削组成物有效
申请号: | 201210154713.4 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN102787005A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 王兴嘉;佘怡璇;卢厚德;汤慧怡 | 申请(专利权)人: | 达兴材料股份有限公司 |
主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10M173/02;B28D1/06;B28D5/04;C10N40/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 秦剑 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 切削 材料 加工 组成 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于切削硬脆材料的加工组成物及切削组成物,特别是涉及一种包含六方氮化硼的加工组成物及切削组成物。
背景技术
线锯切割技术为目前较为广泛被应用于硅晶棒切割的方法,主要可分为游离磨粒方式及固定磨粒方式。该固定磨粒方式是将研磨粒子(如钻石磨粒或碳化硅磨粒)固定于钢丝上形成切割工具,再搭配加工组成物进行硅晶棒的切割处理,而该游离磨粒方式则是以线锯为切割工具,再搭配含有研磨粒子及上述加工组成物的切削组成物进行硅晶棒的切割处理。不论是采用游离磨粒方式或固定磨粒方式,皆会造成硅晶片表面损伤、附着沉积物且表面粗糙等不良的问题,继而影响后续使用的效能、使用期限与可靠度等。因此,经切割后的硅晶片品质的改善除有赖切割装置提升外,加工组成物或切削组成物的性能更是影响切削品质的重点。
目前加工组成物或切削组成物的性能要求多是朝向减少硅晶片表面损伤、降低表面粗糙度以及提高附着沉淀物的移除率等方向研究,来提高生产效益及切削品质。然而,除了上述需等待解决的问题之外,本案发明人于线锯切割过程中发现硅晶棒经切割后,若彼此靠拢排列的硅晶片搁置太久而干燥后,所述硅晶片彼此间不易剥离,且剥离后表面容易产生破坏、损伤、裂痕等表面品质不良的问题,甚至在剥离时易发生破裂情况,导致产能及良率降低。对于本领域技术人员而言,使用上极为不便,且若后段制程处于产能满载时,更不利于前段制程的生产;此时,本领域技术人员需购置数个含有加工组成物或切削组成物的储存槽,将该彼此靠拢排列的硅晶片浸泡于该储存槽中,以防止所述硅晶片干燥后导致不易剥离的问题。此做法不但增加本领域技术人员的成本,更需多一道处理步骤,反而降低了本领域技术人员的使用效益。
再者,本案发明人因应目前薄型化的发展与绿能需求大幅上升,对硅晶片的厚度要求会越来越薄,而会有易脆的特性,若所述硅晶片彼此间不易剥离的问题无法解决,则将造成产能及良率的损失,使得制作成本提高。所以本案发明人有鉴于此问题,发展出一种具有使硅晶片彼此易剥离且不易沾粘的效果的加工组成物或切削组成物,以符合业界的需求。
发明内容
本发明的第一目的是在提供一种用于切削硬脆材料的加工组成物,适用于线锯切割技术中,能使切削硬脆材料后所形成的硬脆片彼此间易剥离。
于是,本发明用于切削硬脆材料的加工组成物包含六方氮化硼、溶剂组分及表面活性剂,其中,以该溶剂组分的总量为100重量份计,该六方氮化硼的含量范围为0.01重量份~10重量份,但不等于0.01重量份。
本发明的第二目的是在提供一种用于切削硬脆材料的切削组成物,适用于线锯切割技术中,能使切削硬脆材料后所形成的硬脆片彼此间易剥离。
于是,本发明用于切削硬脆材料的切削组成物包含如上所述的加工组成物及多数个研磨粒子。
本发明的第三目的是在提供一种高良率且可降低硬脆材料切割制程成本的切削硬脆材料的方法。
本发明切削硬脆材料的方法是使硬脆材料与如上所述的加工组成物接触,并通过切削装置将该硬脆材料切削成多数具有切削面的硬脆片。该加工组成物会使得所述硬脆片彼此易剥离且不易沾粘,及耐高温。
本发明的第四目的是在提供一种高良率且可降低硬脆材料切割制程成本的切削硬脆材料的方法。
本发明切削硬脆材料的方法是使硬脆材料与如上所述的切削组成物接触,并通过切削装置将该硬脆材料切削成多数具有切削面的硬脆片。该切削组成物会使得所述硬脆片彼此易剥离且不易沾粘,及耐高温。
本发明的有益效果在于:透过六方氮化硼、溶剂组分及表面活性剂的使用,不但具有耐高温、优良润滑性、抛光效果、增加切削效益等,且切削成多数具有切削面的硬脆片后,该加工组成物会使得所述硬脆片彼此易剥离且不易沾粘;同时使得所述硬脆片不会因彼此剥离时产生的摩擦,造成所述硬脆片表面的损坏;或者,使得所述硬脆片不会因切削时产生的吸附力,造成所述硬脆片剥离时易破裂,而有效地提高良率。
具体实施方式
本发明用于切削硬脆材料的加工组成物包含六方氮化硼、溶剂组分及表面活性剂,其中,以该溶剂组分的总量为100重量份计,该六方氮化硼的含量范围为0.01重量份~10重量份,但不等于0.01重量份。
当该六方氮化硼的含量高于10重量份时,将致使该六方氮化硼的分散不佳而易沉淀;当该六方氮化硼的含量不大于0.01重量份时,则会造成该切削成多数具有切削面的硬脆片彼此间不易剥离。优选地,以该溶剂组分的总量为100重量份计,该六方氮化硼的含量范围为0.02重量份~0.102重量份。
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