[发明专利]真空吸盘式对位系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种对位系统，尤其涉及一种对非接触的两工件进行对位的真空吸盘式对位系统。

背景技术

随着人们对能源的需求量日益增大，太阳能电池作为新兴的环保资源，其应用越来越广泛，相应地，太阳能电池制造产业也引起广阔的应用前景而不断发展壮大。太阳电池可以使用玻璃、塑料、陶瓷、石墨，金属片等不同材料当基板来制造，形成可产生电压的薄膜厚度仅需数微米，目前，太阳能电池分为晶体硅太阳能电池和非晶硅太阳能电池。

基于晶体硅（单晶硅和多晶硅）的太阳能电池由于发展历史较早且技术比较成熟，在装机容量一直占据领先地位。尽管技术进步和市场扩大使其成本不断下降，但由于材料和工艺的限制，晶体硅太阳能电池进一步降低成本的空间相当有限，因此第一代太阳能电池很难承担太阳能光伏发电大比例进入人类能源结构并成为基础能源的组成部分的历史使命，而非晶硅太阳能电池益发得到世界各国的重视，技术日臻成熟，光电转换效率和稳定性不断提高，集成型非晶硅太阳能电池的激光切割的使用有效面积达90%以上，目前大面积大量生产的硅薄膜太阳能电池的光电转换效率为5%-8%。

非晶硅太阳能电池一般采用等离子增强型化学气相沉积（PECVD，PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition）方法使高纯硅烷等气体分解沉积而成的。此种制作工艺，可以在生产中连续在多个真空沉积室完成，以实现大批量生产。由于沉积分解温度低，且可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上沉积薄膜，易于大面积化生产，成本较低。以在玻璃基板上制备的非晶硅基太阳能电池为例，其首先在玻璃(glass)衬底上沉积透明导电膜(TCO)，然后依次用等离子体反应沉积p型、i型、n型三层a-Si，接着再蒸镀金属电极铝(Al)，非晶硅(a-Si)太阳电池是光从玻璃面入射，电池电流从透明导电膜和铝引出，其结构可表示为glass/TCO/pin/Al。

在非晶硅太阳能电池板制备过程中，常需要先对其玻璃基板进行精确对位，之后才能进行相应的操作，传统的做法是利用机械手将玻璃基板及其他物件进行装夹，再利用机械手进行对位，或将玻璃基板直接贴合于需对位的物件上使两者接触以进行对位，上述方式中，对玻璃基板进行接触式对位及进行装夹，可能会对玻璃基板造成污染或损伤，从而影响非晶硅太阳能电池板的生产精度，另外，当需要对应的玻璃基板与其他物件的长宽高都不相同时，采用上述方法进行对位的精度不够高。

因此，有必要提供一种可实现对非接触的两工件进行精确对位的装置来解决现有技术的不足。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可实现对非接触的两工件进行精确对位的真空吸盘式对位系统。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种真空吸盘式对位系统，适用于对非接触的两工件进行对位，其包括对位装置、固定平台装置、旋转平台装置、对位调节装置及底座，所述对位调节装置连接于所述底座上，所述旋转平台装置连接于所述对位调节装置的上方，所述固定平台装置设置于所述旋转平台装置的一侧，并与所述旋转平台装置相对应，所述对位装置设置于所述固定平台装置的上方，且所述固定平台装置、旋转平台装置上均开设有气孔并与抽真空系统连接，其中，所述对位调节装置包括X轴调节机构、Y轴调节机构及Z轴调节机构，所述旋转平台装置滑动地连接于所述X轴调节机构的上端，并可沿X轴方向水平滑动，所述X轴调节机构的下端滑动地连接于所述Y轴调节机构的上端，并可沿Y轴方向水平滑动，所述Y轴调节机构的下端固定于所述Z轴调节机构上，且所述Z轴调节机构活动地连接于所述底座上，并可相对所述底座沿Z轴方向运动。

较佳地，所述旋转平台装置包括旋转固定座、旋转调节机构、活动平台及第一真空接头，所述活动平台上开设有气孔，所述第一真空接头安装于所述活动平台的侧部，并与所述活动平台上开设的气孔相连通，所述活动平台旋转地连接于所述旋转固定座上，所述旋转固定座滑动地连接于所述X轴调节机构的上端，所述旋转调节机构连接于所述旋转固定座的侧部，并与所述活动平台连接，通过抽真空系统将工件吸附于活动平台上，实现工件的固定，避免装夹等给工件带来的损伤。