[发明专利]一种可快速更换匀气方式的真空腔室

权利要求书

1.一种可快速更换匀气方式的真空腔室，其是一个包括有腔筒、上盖（20）和下盖密封连接构成的腔体，在所述上盖（20）上设有进气喷嘴（10），所述进气喷嘴（10）连通一个在其下方的第一腔体构成第一布气室（160），所述第一布气室（160）的外壁与所述真空腔体的内壁之间构成第二布气室（170），在第一布气室（160）的腔体壁上设置布气孔连通所述第一布气室和第二布气室；在第二布气室的腔体壁上设置出气口，其上连接管路，在该管路上设置真空泵；其特征是：

构成所述第一布气室(160)的所述第一腔体与所述腔体之间构成可拆连接结构，所述腔体上设有若干连接结构用于与不同大小规格的所述第一布气室上的连接结构连接，构成所述的可拆连接结构。

2.如权利要求1所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：所述第一布气室与所述腔体之间构成的可拆连接结构为：所述腔体上相应处设置若干组连接螺孔，所述第一布气室上设有与所述腔体上的一组所述螺孔对应的螺孔和穿设在所述螺孔中的螺栓组件；或者是：所述腔体的内壁上设置凹槽，所述第一布气室上设有与所述腔体上的所述凹槽相对应的螺孔和穿设在所述凹槽和所述螺孔中并能够在凹槽中滑动的螺栓组件；和/或，

在所述第二布气室中设置一基座，该基座上表面为放置基片的表面，与所述第一布气室的布气孔相对处设置所述基座，其连接一升降装置，该升降装置包括一直线运动机构，其连接一驱动装置，所述驱动机构设置在所述腔室外面，其与所述腔室之间设置一可伸缩的波纹管密封连接。

3.如权利要求1或2所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：在所述上盖的内表面上设置凸缘，在该凸缘上相对于该上盖上设置的进气喷嘴的周围设置若干个所述凹槽，各个所述凹槽相对于一个中心呈射线状延设到上盖内表面上设置的所述凸缘的外边缘，该凹槽为槽口较小、槽底较大的凹槽，所述第一布气室为，包括一筒体形内衬，其下端口上连接一布气板，其上设置所述布气孔，在该内衬的上端口上向外凸设法兰凸缘，在该法兰凸缘上设置螺孔，在该螺孔中穿设所述螺栓组件，该螺栓组件中螺栓的端头插设在所述凹槽中；和/或，所述上盖和所述腔筒之间是可拆卸的密封连接结构；和/或，所述上盖上的所述进气喷嘴与所述上盖是分体可拆分的结构，在所述上盖上设置有进气喷嘴安装孔，在该安装孔上固设一进气喷嘴体，在该进气喷嘴体上设置所述进气喷嘴孔；该进气喷嘴体与所述上盖之间设置密封圈。

4.如权利要求3所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：在所述进气喷嘴体的进气喷嘴孔的出气一端固设一进气布气板或称为第一布气板，该第一布气板上设置通孔，所述第一布气板和所述进气喷嘴体或上盖之间构成可拆连接结构。

5.如权利要求4所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：所述第一布气板和上盖之间的可拆连接结构是，第一布气板为一与所述进气喷嘴体端口外廓匹配的敞口筒体，在该敞口筒体的筒底板上设置出气孔，该敞口筒体的外侧加工有螺纹，通过螺纹与所述上盖（20）连接，所述敞口筒体的内侧与进气喷嘴体之间为间隙配合。

6.如权利要求3所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：构成所述第一布气室的第一腔室的所述内衬，其下端设置的布气板为第二布气板，所述第二布气板和所述第一腔室构成可拆连接结构。

7.如权利要求6所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：所述第二布气板和第一腔室的可拆连接结构为：所述内衬（50）的下端设一法兰（54），一环形托板（70）为两半环体组合结构，分别通过螺栓式的所述转轴（80）铰接固定在所述内衬（50）下端法兰（54）的下端口上，所述环状托板（70）上设有一环形凹槽，与该第二布气板体（60）的外廓相匹配；两个铰接螺栓式所述转轴（80）分别设置在两个所述半环体的一端，两个半环体合拢成环状托板（70）时，所述第二布气板（60）卡设在该环形托板（70）的环形凹槽中，且抵在所述内衬（50）的下端口上。

8.如权利要求7所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：两个所述转轴分别位于所述下端口中心线的两侧。

9.如权利要求2所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：所述升降装置中的驱动装置为一个电机，所述直线运动机构为一螺旋机构。

10.如权利要求9所述可快速更换匀气方式的真空腔室，其特征在于：该电机的输出轴上连接一螺杆，在该螺杆上设置一螺母，该螺母上固定所述基座；所述电机设置在所述真空腔体的外面，该可伸缩的波纹管的两端分别与该电机和所述真空腔体密封固接，通过该波纹管使得电机和真空腔体之间密封；和/或，所述第一腔室的第二布气板和所述基座上下对应，所述真空腔室的下端的下盖上与所述第一布气室的第二布气板对应处设置一个开口，在该开口上连接一接管，在该接管的管壁上设置所述第二布气室的所述出气口。