[发明专利]含双酚A骨架结构的分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用

权利要求书

1.通式（I）或（II）的化合物，

其中X独立的选自H、C_1-8烷基、-COOC_1-8烷基、R独立的选自H、-OH、-OC_1-8烷基、-OCOOC_1-8烷基、

2.一种制备如权利要求1所述的通式（I）化合物的方法，其步骤如下：

其中X、R如权利要求1中所定义；R₁独立的选自H、-OC_1-8烷基；Y独立的选自C_1-8烷基；

（i）将通式（III）四溴双酚A与Z-Y或SO₂(O-Y)₂反应，其中Y为C_1-8烷基，Z为卤素，生成化合物（I-A）；

（ii）化合物（I-A）与反应生成化合物（I-B）；其中R₁独立的选自H或-OC_1-8烷基；

（iii）化合物（I-B）发生去烷基化反应生成通式（I）化合物，其中，R独立的选自H或-OH，X为H；

（iv）上述步骤（iii）中得到的通式（I）化合物分别与(COOR₃)₂O或者R₄Z反应，其中R₃任选为C_1-8烷基，R₄任选为C_1-8烷基、Z为卤素，生成不同程度保护的苯酚型分子玻璃，即通式（I）化合物。

3.一种制备如权利要求1所述的通式（II）化合物的方法，其步骤如下：

其中X、R如权利要求1中所定义；R₁独立的选自H、-OC_1-8烷基；Y独立的选自C_1-8烷基；

（1）将通式（IV）二溴双酚A或其衍生物与Z-Y或SO₂(O-Y)₂反应，其中Y为C_1-8烷基，Z为卤素，生成化合物（II-A）；

（2）化合物（II-A）与反应生成化合物（II-B），其中R₁独立的选自H或-OC_1-8烷基；

（3）化合物（II-B）发生去烷基化反应生成通式（II）化合物，其中，R独立的选自H或-OH，X为H；

（4）上述步骤（3）中得到的通式（II）化合物分别与(COOR₃)₂O或者R₄Z反应，其中R₃任选为C_1-8烷基，R₄任选为C_1-8烷基、Z为卤素，得到不同程度保护的杯芳烃型分子玻璃，即通式（II）化合物。

4.如权利要求1所述的化合物的用途，其中酚羟基未保护的化合物可用于负性光刻胶；酚羟基全保护的化合物可用于正性光刻胶；酚羟基部分保护的化合物可用于正性或负性光刻胶。

5.一种负性光刻胶组合物，包括如权利要求1中所述的可作为负性光刻胶使用的酚羟基未保护或部分保护的通式（I）或（II）化合物，以及光酸产生剂、交联剂、光刻胶溶剂。

6.如权利要求5所述的负性光刻胶组合物，其特征为：含有0.1%～10%（质量比）的通式（I）或（II），0.01%～1%（质量比）的交联剂，0.01%～1%（质量比）的光酸产生剂。

7.一种正性光刻胶组合物，包括如权利要求1中所述的可作为正性光刻胶使用的酚羟基全保护或部分保护的通式（I）或（II）化合物，以及光酸产生剂、光刻胶溶剂，优选含有1%～10%（质量比）的通式（I）或（II），优选含有0.01%～1%（质量比）的光酸产生剂。

8.如权利要求5-7中任一项所述的光刻胶组合物，其特征为，光酸产生剂包括离子型或非离子型，如三苯基锍三氟甲磺酸盐、二（4-叔丁基苯基）碘鎓对甲苯磺酸盐、N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸盐等；交联剂包括四甲氧基甲基甘脲、2,4-二羟甲基-6-甲基苯酚（2,4-DMMP）等；光刻胶溶剂包括丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）、乳酸乙酯、乙二醇单甲醚、环己酮等。