[发明专利]涂敷装置

说明书

技术领域

本发明涉及将墨液等液体涂敷在对象物上的规定位置处的液体的涂敷装置。 

背景技术

一直以来，使用了挤压方式的喷嘴(模头)的涂敷装置能够进行均匀的薄膜涂敷，因此被广泛地利用在各种领域中。图9表示以往的模头的涂敷液喷出口附近的侧方剖视图。 

该喷嘴(模头)基本具备：用于使来自入液口的涂敷液沿着宽度方向扩展的歧管(未图示)；将涂敷液从该歧管压出的涂敷狭缝。并且，从入液口向内部流入的涂敷液在歧管内沿着宽度方向扩展，通过前端的涂敷用狭缝，从涂敷液喷出口2被压出而涂敷在基板的表面。 

为了使该涂敷装置应对涂敷速度的高速化，而需要稳定地保持从喷嘴(模头)1的前端部的涂敷液喷出口2压出的涂敷液珠4。作为这样的方法，通常已知有在喷嘴1的狭缝(或孔形状等的喷出涂敷液的部位)的上游侧附加减压室7，并通过该减压室7对喷嘴1前端的涂敷液珠附近部进行减压的方法。而且，图10表示以往的液体涂敷装置的吸引口侧壁面的立体图。如此，在现有的液体涂敷装置中，吸引口侧壁面成为平滑面。 

而且，近年来，为了低成本且高生产性地生产高性能的设备，要求在卷对卷地高速传送的基材上以更短的间隔(是“缩短未涂敷部”的意思)间歇地形成涂敷膜。而且，在向单片的被涂敷件的涂敷中，为了实现设备的小型·轻量化所引起的商品力提高和材料成本削减，而要求在被涂敷件的表面整个区域上形成涂敷膜。 

为了实现这种高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷，而需要沿着涂敷宽度方向均匀且短时间地实现涂敷终端部的液体切断。 

图11是在终端部使喷嘴1上升(是“离开被涂敷件”的意思)的方法， 图11(a)表示侧方剖面，图11(b)表示从涂敷液喷出口侧观察到的图。 

一直以来，为了沿着涂敷宽度方向均匀且短时间地实现涂敷终端部的液体切断，而使用了图11所示那样的在终端部停止来自泵(未图示)的涂敷液供给并使喷嘴1上升的方法。根据该方法，由于使喷嘴1上升，而涂敷液珠4延伸，并且局部性地产生涂敷液珠的厚度薄的部分，以该薄的部分为起点而在涂敷液珠产生龟裂，从而将涂敷液珠割断。而且，作为改善涂敷终端部的液体切断的方法，在专利文献1中公开了一种通过回吸活塞(未图示)而在喷嘴1内的流路形成涂敷液吸入空间的方法。 

专利文献1：日本特开2002-045762号公报 

图12是因拖尾而产生涂敷膜局部相连这样的不良情况的图，图12(a)表示拖尾部的放大图，图12(b)表示涂敷时的喷嘴上方概观图，图12(c)表示涂敷时的喷嘴侧方概观图。而且，图13是在向单片的被涂敷件的涂敷中产生的拖尾的图，图13(a)是涂敷时的喷嘴上方概观图，图13(b)是涂敷后的被涂敷件上方概观图，图13(c)是拖尾部的放大图。需要说明的是，在两图中，1是喷嘴，21是拖尾部，5是被涂敷件，8是涂敷膜。 

在图11所示那样的在终端部使喷嘴1上升的方法中，难以控制涂敷液珠延伸且被揪断的行为，局部地最长延伸的涂敷液如图12(a)及图13(c)所示那样倒落在被涂敷件上而发生“拖尾”。其结果是，如图12所示，在未涂敷部的短间歇涂敷中，发生涂敷膜局部地相连这样的不良情况，成品率下降。由此，无法将未涂敷部缩短为一定长度以上，存在无法充分地实现生产性提高和低成本化这样的问题。 

另外，在向单片的被涂敷件的涂敷中，当要向被涂敷件整个区域进行涂敷时，因“拖尾”而涂敷液从被涂敷件溢出，会发生设备的污染或溢出的涂敷液附着于其它的样品所引起的不良情况。其结果是，如图13所示，在设备设计上不得不确保与“拖尾”量相应的多余的被涂敷件的区域，存在难以实现设备的小型化·轻量化并且也难以削减材料成本这样的问题。 

另外，在通过回吸活塞而在喷嘴1内的流路形成涂敷液吸入空间的方法中，喷嘴的结构变得复杂，存在分解·清洗·组装等维护烦杂且困难的问题。而且，存在难以实现喷嘴的小型轻量化且成为高价的设备这样的问题。 

而且，吸入适量的微少的涂敷液珠的液量这样的回吸活塞的精密控制 非常困难，在连续的大量生产中，吸入量少而发生“拖尾”，或吸入量过多而空气混入到喷嘴内，从而均匀的涂敷液的喷出无法持续这样的状况频繁发生。由此，在生产中，存在回吸活塞的吸入量的调整频度变多而生产性下降这样的问题。 

发明内容

本发明鉴于上述现有的课题而作出，其目的在于提供一种能够进行高速间歇涂敷及向被涂敷件整个区域的涂敷的涂敷装置。