[发明专利]半导体装置无效
申请号: | 201210159543.9 | 申请日: | 2012-05-22 |
公开(公告)号: | CN102800635A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 金谷康;塚原良洋 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L23/34 | 分类号: | H01L23/34 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 闫小龙;王忠忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,其特征在于,具备:
主体芯片;
电路图案,设置在所述主体芯片的表面,并且具有第一焊盘;
盖芯片,在表面设置有第一凹部,在背面设置有第二凹部,以使所述第一凹部与所述电路图案对置的方式与所述主体芯片接合;
第二焊盘,设置在所述盖芯片的所述第一凹部的底面;
第一金属构件,填充于所述盖芯片的所述第二凹部;
第一贯通电极,贯通所述盖芯片,连接所述第二焊盘和所述第一金属构件;以及
凸起,连接所述第一焊盘和所述第二焊盘。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,具备:
第三焊盘,设置在所述主体芯片的背面;以及
第二贯通电极,贯通所述主体芯片,连接所述第一焊盘和所述第三焊盘。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于,具备:
第三凹部,设置在所述主体芯片的背面;
第二金属构件,填充于所述主体芯片的所述第三凹部;以及
第二贯通电极,贯通所述主体芯片,连接所述第一焊盘和所述第二金属构件。
4.根据权利要求1~3的任意一项所述的半导体装置,其特征在于,
还具备覆盖所述盖芯片的金属膜。
5.一种半导体装置,其特征在于,
准备两个权利要求1~3的任意一项所述的半导体装置,将这两个半导体装置的所述主体芯片的背面彼此接合。
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