[发明专利]一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器

权利要求书

1.一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器，其特征在于：

该光纤光栅传感器是由相位掩膜法制成的光纤布拉格光栅，它被均匀分成两部分，光纤布拉格光栅的左半部分（1）被氢氟酸溶液腐蚀直径变细，并在左半部分（1）上镀上一层金属保护膜（2），光纤布拉格光栅的右半部分（3）保持不变作为参考光纤光栅。

2.根据权利要求1所述的一种利用化学腐蚀和化学镀的双参数测量光纤光栅传感器，其特征在于：

该传感器的制作步骤如下：

步骤一 采用相位掩模板法制作出光纤布拉格光栅；

步骤二 将布拉格光栅的对应的左半部分放入氢氟酸溶液中进行化学腐蚀；

步骤三 在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面吸附一层易氧化物质；

步骤四 在腐蚀后的光纤布拉格光栅表面生成一层薄金属层；

步骤五 对腐蚀后的光纤布拉格光栅进行化学镀金属。