[发明专利]激光加工方法和激光加工设备

权利要求书

1.一种激光加工方法，包括以下步骤：

透过加工物的入射表面照射激光并在所述加工物的切割起始面上或附近聚光，使聚光点处和/或聚光点邻近区域的加工物气化和/或熔化，从而在切割起始面上形成起始热去除区，并使起始热去除区在所述切割起始面上沿预定路径连续分布从而形成起始热去除线；

照射激光以在之前的热去除步骤中形成的加工物表面上或附近聚光，使聚光点处和/或聚光点邻近区域的加工物气化和/或熔化，从而形成后续热去除区，并使后续热去除区沿预定路径连续分布从而形成后续热去除线。

2.如权利要求1所述的激光加工方法，其中形成起始热去除线的步骤包括多条起始热去除线横向叠加形成起始热去除道，形成后续热去除线的步骤包括多条后续热去除线横向叠加形成后续热去除道。

3.如权利要求2所述的激光加工方法，其中所述入射表面是所述加工物的上表面且所述切割起始面是所述加工物的下表面，所述方法还包括：在形成一所述起始热去除道或所述后续热去除道后，将聚光点相对于所述加工物上移一预定距离以在上移的聚光点高度处形成一后续热去除道。

4.如权利要求1所述的激光加工方法，其中所述加工物是玻璃。

5.如权利要求1所述的激光加工方法，其中所述加工物是钢化玻璃。

6.如权利要求1所述的激光加工方法，其中所述加工物是大猩猩玻璃、钠钙玻璃或龙迹玻璃。

7.如权利要求5所述的激光加工方法，其中所述钢化玻璃的钢化层深度小于或等于100μm，且所述钢化玻璃厚度小于或等于5mm。

8.如权利要求1所述的激光加工方法，其中所述激光由纳秒激光器、皮秒激光器或飞秒激光器产生，激光峰值功率0.1-1MW，所述起始热去除线或后续热去除线的宽度为10-60μm。

9.如权利要求1-8中任一项所述的激光加工方法，包括

在入射到所述加工物之前将所述激光分成两束或更多束，每束激光各自用于单独的切割。

10.如权利要求1-8中任一项所述的激光加工方法，包括

在所述加工物下方设置在激光照射时能发生溅射的材料，在切割区域所述材料和所述加工物间隔开一距离。

11.如权利要求9所述的激光加工方法，其中所述材料包括纸张、油墨、铝。

12.如权利要求1-8中任一项所述的激光加工方法，包括对所述入射表面进行冷却的步骤。

13.如权利要求11所述的激光加工方法，其中通过吹气装置进行所述冷却。

14.如权利要求1-8中任一项所述的激光加工方法，包括利用吸气装置将气化和融化的加工物材料吸走。

15.如权利要求1-8中任一项所述的激光加工方法，其中后续热去除线和起始热去除线一起形成将所述加工物分开的热去除面。

16.一种用于对加工物进行激光切割的激光加工设备，包括

发射脉冲激光的激光光源；

聚光装置，所述聚光装置能将所述激光光源发射的脉冲激光在加工物表面或内部聚光，使得至少聚光点处的功率密度能使加工物被气化和/或熔化而形成热去除区；

移动装置，所述移动装置能使所述聚光点相对于所述加工物移动，所述移动装置被配置成

使得脉冲激光透过所述加工物的入射表面并使聚光点在所述加工物的切割起始面上或附近，使聚光点处和/或聚光点邻近区域的加工物气化和/或熔化，从而在切割起始面上形成起始热去除区，并使起始热去除区在所述切割起始面上沿预定路径连续分布从而形成起始热去除线；

使得聚光点在之前的热去除中形成的加工物表面上或附近，使聚光点处和/或聚光点邻近区域的加工物气化和/或熔化，从而形成后续热去除区，并使后续热去除区沿预定路径连续分布从而形成后续热去除线。

17.如权利要求16所述的激光加工设备，其中所述移动装置进一步配置成使多条所述起始热去除线横向叠加形成起始热去除道，使多条所述后续热去除线横向叠加形成后续热去除道。