[发明专利]一种具有组合结构的掩膜板

权利要求书

1.一种具有组合结构的掩膜板，包括：

具有组合结构的平面丝网,

和在所述平面丝网上涂覆或压贴一层或多层的感光聚合物层；

所述具有组合结构的平面丝网由非图形区及图形区构成，所述图形区由2个及以上的在同方向上目数不同且由规则排列的网格阵列的图形区域构成，所述网格阵列的所述网格的形状可以是多边形、圆形或其形状的组合，形成构成所述图形区域的所述网格阵列的网格线径可以相同，也可以不同；

所述掩膜板上的感光聚合物层在指定区域设置为镂空形态，其与该区域网孔构成印刷区；其余非镂空形态的区域与所述平面丝网结合构成掩膜区。

2.根据权利要求1所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于，所述具有组合结构的平面丝网由电铸一体成型制作，无编织型经纬节点。

3.根据权利要求1所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于，所述图形区域的数目为2、3、4、5、6。

4.根据权利要求1所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于，所述多边形可以是六边形、矩形、正方形。

5.根据权利要求1所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于构成所述平面丝网的组合结构的所述图形区域可以形成主栅线印刷区、细栅线印刷区、掩膜印刷区。

6.根据权利要求5所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于，同方向上所述细栅线印刷区的网格目数为50～600目，所述主栅线印刷区及所述掩膜区的网格目数为100～800目。

7.根据权利要求6所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于，同方向上所述细栅线印刷区的网格目数为100～400目，所述主栅线印刷区的网格目数为200～550目，所述掩膜印刷区的网格目数为200～500目。

8.根据权利要求7所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于，同方向上所述细栅线印刷区的网格目数为200～330目，所述主栅线印刷区的网格目数为260～460目，所述掩膜印刷区的网格目数为220～430目。

9.根据权利要求1所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于，所述网格线径为8～40um。

10.根据权利要求1所述的具有组合结构的掩膜板，其特征在于，所述网格线径为10～25um。