[发明专利]基于MEMS红外成像系统的反射式光学读出系统有效
| 申请号： | 201210161376.1 | 申请日： | 2012-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN102680107B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 惠梅;王文娟;龚诚;赵跃进 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 红外 成像 系统 反射 光学 读出 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MEMS红外成像系统的反射式光学读出系统，其特征在于：该系统由照明光路、焦平面阵列微悬臂梁FPA、红外透镜、凹面反射镜、反射滤波器、光电探测器及显示器组成，红外透镜将红外热辐射目标共轭成像在FPA后表面上，使FPA小单元发生受热变形偏转，照明光路出射的平行光经FPA前表面反射后到达凹面反射镜，凹面反射镜对FPA受热变形偏转光场进行傅里叶变换，傅里叶频谱由反射滤波器滤波，再经过另一片凹面反射镜的逆傅里叶变换成像在光电探测器上，显示器显示FPA受热偏转后的光场信息。
2.如权利要求1所述的基于MEMS红外成像系统的反射式光学读出系统，其特征在于：凹面反射镜在背面做轻量化的设计和处理，钻孔或者是铸造孔以达到轻量化的目的。
3.如权利要求2所述的基于MEMS红外成像系统的反射式光学读出系统，其特征在于：反射式滤波器是在平面反射镜上刻制圆点、方点、窄带形状的图形以实现位相滤波。
4.如权利要求2所述的基于MEMS红外成像系统的反射式光学读出系统，其特征在于：反射式读出系统中的反射光学元件的布置采用了折叠光路。
5.如权利要求2所述的基于MEMS红外成像系统的反射式光学读出系统，其特征在于：反射式光学读出系统是离轴反射系统。
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