[发明专利]一种压电叠堆泵

权利要求书

1.一种压电叠堆泵，包括设有流体入口（13）和流体出口（12）的泵基座（11）、泵体（6）、泵上盖（3）和容纳于泵体（6）内的压电叠堆（5），其特征在于，压电叠堆（5）的一端与泵基座（11）之间设有一振动活塞（8），压电叠堆（5）另一端与泵上盖（3）之间设有一预紧活塞（4）；所述的振动活塞（8）粘贴在振动薄膜（10）上，所述的振动薄膜（10）与泵基座（11）间形成工作液腔（14）。

2.如权利要求1所述的压电叠堆泵，其特征在于，所述的振动薄膜（10）设置于振动活塞（8）与泵基座（11）之间，并且通过一压环（9）压紧固定。

3.如权利要求1所述的压电叠堆泵，其特征在于，所述的泵上盖（3）上设置有一对预紧活塞（4）施加预紧力的预紧螺钉（1）。

4.如权利要求1或2或3所述的压电叠堆泵，其特征在于，所述的泵体（6）为具有圆柱形空腔的泵体。

5.如权利要求4所述的压电叠堆泵，其特征在于，所述的预紧活塞（4）直径小于泵体（6）内腔直径。

6.如权利要求1所述的压电叠堆泵，其特征在于，所述的泵体（6）与泵基座（11）和泵上盖（3）之间通过螺钉连接。

7.如权利要求1所述的压电叠堆泵，其特征在于，所述的流体入口（13）设置有入口单向阀，所述的流体出口（12）设置有出口单向阀。