[发明专利]质量流控制器监视有效
| 申请号： | 201210163894.7 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN102798441B | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | S·琼斯;宋一平 | 申请（专利权）人： | SPTS技术有限公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 侯海燕 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质量 控制器 监视 | ||
1.一种监视连接到压力腔室的用于向处于不受抽吸状态的所述腔室供气的质量流控制器的方法，包括：
周期地切换所述质量流控制器以为测试时段创建连续填充周期；以及
在所述测试时段期间，间隔地测量腔室压力；
其特征在于，所述质量流控制器的总切换时间为所述填充周期时间的至少10％，以及所述方法包括获得压力测量结果的平均值并把它们与历史数据比较以判断所述质量流控制器是否正常运转。
2.根据权利要求1的方法，其中，当所述腔室达到预定压力时，所述测试时段终止。
3.根据权利要求1的方法，其中，在预定数量的周期之后，所述测试时段终止。
4.根据任何一个前面的权利要求的方法，其中，每个周期都包括填充步骤和不进行填充的延迟步骤。
5.根据权利要求4的方法，其中，所述填充步骤和/或所述延迟步骤的长度在测试时段期间变化。
6.根据任何一个前面的权利要求的方法，其中，在所述周期期间，所述质量流控制器不完全关闭和/或打开。
7.根据任何一个前面的权利要求的方法，其中，填充周期时间从约0.1s到约60s。
8.根据任何一个前面的权利要求的方法，其中，至少两个周期被执行。
9.根据任何一个前面的权利要求的方法，其中，所述质量流控制器的切换时间在约10ms到约200ms之间。
10.根据任何一个前面的权利要求的方法，其中，质量流控制器切换时间与填充周期时间之比在0.00017到2之间。
11.根据任何一个前面的权利要求的方法，包括获得压力测量结果的梯度并把所述梯度与历史数据比较以判断所述质量流控制器是否正常运转。
12.根据任何一个前面的权利要求的方法，其中，所述腔室是蚀刻或沉积工具的工作腔室。
13.根据权利要求1到11中任何一个的方法，其中，所述腔室是测试腔室。
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