[发明专利]一种像方标记承载装置及制造该承载装置的方法有效
| 申请号： | 201210164215.8 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN103424994A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 朱婧怡 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 标记 承载 装置 制造 方法 | ||
1.一种像方标记承载装置，其特征在于，所述承载装置包括第一层板与第二层板，所述第一层板位于所述第二层板的上方，所述承载装置包括第一类型标记与第二类型标记，所述第一类型标记位于所述第一层板上，所述第二层板在对应所述第一类型标记之处设置一开口。
2.如权利要求1所述的像方标记承载装置，其特征在于，所述第二类型标记位于第一层板或第二层板上。
3.如权利要求1所述的像方标记承载装置，其特征在于，所述第一类型标记为透射型标记，所述第二标记为反射型标记。
4.如权利要求1所述的像方标记承载装置，其特征在于，所述第一层板与第二层板均由熔融石英组成。
5.如权利要求1所述的像方标记承载装置，其特征在于，所述开口用于放置探测器，所述探测器与所述第一类型标记的下方。
6.一种像方标记承载装置的制造方法，其特征在于，包括：
步骤一：在第一层板上加工一第一类型标记，在第二层板上加工一开口；
步骤二：使所述第二层板相对固定于所述第一层板的下方时，所述开口位于所述第一类型标记的下方。
7.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述步骤一还包括：在第一层板上加工一第二类型标记。
8.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述步骤一还包括：在第二层板上加工一第二类型标记。
9.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述第一类型标记为透射型标记。
10.如权利要求7或8任一项所述的制造方法，其特征在于，所述第二标记为反射型标记。
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