[发明专利]用于清洗衬底的方法有效
| 申请号： | 201210164517.5 | 申请日： | 2006-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102688867A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | J·M·德拉里奥斯;M·拉夫金;J·法伯;M·科罗利克;F·C·雷德克尔 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B3/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 谭佐晞;杨国治 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 衬底 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于清洗衬底的方法，包括：
以非牛顿流体填充腔室，该腔室具有输入端和输出端；
在输入端将衬底引入到腔室中，并且将悬浮的衬底悬浮在非牛顿流体中；
关闭到输入端的通道；以及
迫使另外非牛顿流体进入腔室，从而非牛顿流体的流在衬底的表面移动并且非牛顿流体在输出端流出。
2.权利要求1的方法，进一步包括：
当非牛顿流体能流动通过腔室时，阻止衬底在腔室中的移动。
3.权利要求1的方法，进一步包括：
当迫使另外非牛顿流体时，激活销以阻止衬底移动到输出端，销接触衬底的边缘。
4.权利要求3的方法，进一步包括：
释放销以使得衬底能够离开输出端。
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