[发明专利]惯性传感器

权利要求书

1.惯性传感器(201)，其具有衬底(203)和摆杆(207)，所述摆杆借助弹簧装置(205)与所述衬底(203)连接，其中，所述弹簧装置(205)具有至少两个用于将所述摆杆(207)悬挂在所述衬底(203)上的弹簧(209a，209b)，其特征在于，所述至少两个弹簧(209a，209b)以它们的纵向轴线(211a，211b)为参照相互错开地设置，从而所述至少两个弹簧不作为相互限界的元件起作用。

2.根据权利要求1的惯性传感器(201)，其特征在于，所述弹簧装置(205)具有至少一个与所述衬底(203)连接的悬挂块(305，307)，至少一个弹簧(209a，209b)固定在所述悬挂块上。

3.根据权利要求2的惯性传感器(201)，其特征在于，构成多个悬挂块(305，307)并且在每个悬挂块(305，307)上固定至少一个弹簧(209a，209b)。

4.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，所述至少两个弹簧(209a，209b)至少部分搭接并排地设置。

5.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，以所述摆杆的一个借助所述至少两个弹簧的纵向轴线(211a，211b)限定的在摆杆平面中构成的旋转轴线为参照，所述摆杆(207)非对称地悬挂在所述衬底(203)上。

6.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，至少一个电极与所述摆杆(207)相对置地设置在所述衬底(203)上，该电极与所述摆杆(207)形成一个用于电容地检测所述摆杆(207)的偏移的电容器。

7.根据权利要求6的惯性传感器(201)，其特征在于，至少两个电极(407，409)与所述摆杆(207)相对置地设置在所述衬底(203)上以形成差动式电容器。

8.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，构成一用于限制摆杆偏移的止挡(313)。

9.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，所述摆杆(207)具有空槽(314)，所述弹簧装置(205)设置在所述空槽中。

10.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，所述惯性传感器(201)构成为微机械的惯性传感器。

11.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，所述惯性传感器(201)构成为加速度传感器。

12.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，所述惯性传感器(201)构成为多通道的惯性传感器。

13.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，所述至少两个弹簧(209a，209b)平行并排地设置。

14.根据权利要求1至3之一的惯性传感器(201)，其特征在于，所述惯性传感器(201)构成为多通道的加速度传感器。