[发明专利]一种小口径光学元件抛光方法及装置

权利要求书

1.一种小口径光学元件抛光装置，包括一旋转平台（4），其特征是，所述旋转平台（4）上装有用于上下振动轴对称旋转曲面工件（21）的超声波振动系统（2），所述轴对称旋转曲面工件（21）装在该超声波振动系统（2）的上端，该轴对称旋转曲面工件（21）上方设有限制微细磨粒流体（37）流量的限流块（1）；所述限流块（1）一侧设有负压槽（31），该限流块（1）另一侧设有高压槽（36），所述高压槽（36）通过循环管道（33）与储存微细磨粒流体（37）的储液器（34）的一端连通；所述储液器（34）的另一端通过循环管道（33）与负压槽（31）连通；所述高压槽（36）与储液器（34）之间设有压入泵（35）；所述负压槽（31）与储液器（34）之间设有吸出泵（32）；所述限流块（1）和轴对称旋转曲面工件（21）之间设有连通高压槽（36）和负压槽（31）的抛光槽（14）。

2.根据权利要求1所述的小口径光学元件抛光装置，其特征是，所述超声波振动系统（2）的结构为，固定在旋转平台（4）上的超声波发生器（24）与固定在旋转平台（4）上的换能器（23）相连，所述换能器（23）上端设有变幅杆（22），所述轴对称旋转曲面工件（21）装在该变幅杆（22）上端，所述轴对称旋转曲面工件（21）为凹面工件或凸面工件。

3.根据权利要求1所述的小口径光学元件抛光装置，其特征是，所述限流块（1）包括调节板（11），该调节板（11）一侧为前挡板（12），该调节板（11）另一侧为后挡板（13），该调节板（11）可相对前挡板（12）和后挡板（13）上下移动，该调节板（11）下端与轴对称旋转曲面工件（21）的上端、前挡板（12）、后挡板（13）之间形成所述抛光槽（14）。

4.根据权利要求1所述的小口径光学元件抛光装置，其特征是，所述轴对称旋转曲面工件（21）与高压槽（36）、负压槽（31）之间均设有下密封装置（39）；所述限流块（1）与高压槽（36）、负压槽（31）之间均设有上密封装置（38）。

5.根据权利要求3所述的小口径光学元件抛光装置，其特征是，所述前挡块（12）与后挡块（13）的底部为曲面，且与轴对称旋转曲面工件（21）的曲面配合。

6.根据权利要求3所述的小口径光学元件抛光装置，其特征是，所述储液器（34）内部装有搅拌器。

7.根据权利要求1所述的小口径光学元件抛光装置，其特征是，所述抛光槽（14）、负压槽（31）、吸出泵（32）、循环管路（33）、储液器（34）、压入泵（35）、高压槽（36）构成整个微细磨粒流体循环系统（3）。

8.根据权利要求1 所述的小口径光学元件抛光装置，其特征是，所述输送泵（8）为控制循环管路中的流速和压力变量泵。