[发明专利]光学复检系统及其检测方法

权利要求书

1.一种光学复检系统，其特征在于，用于辅助检测待测物表面的缺陷，包含：

工作平台，具有承载区用以承载该待测物；

光源模块，设于该工作平台上方并对应该承载区，该光源模块用于发出第一光线照射该待测物，用以使该第一光线入射该待测物表面而反射出第二光线；

影像提取模块，设于该工作平台上方并对应该承载区，该影像提取模块用以提取该第二光线并产生影像数据；

控制模块，电连接该光源模块与该影像提取模块，或进一步电连接该工作平台，该控制模块用于产生控制信号以控制该工作平台、该光源模块与该影像提取模块的至少其中之一的动作，以改变该第二光线；以及

显示模块，电连接该控制模块，该显示模块用于显示该控制信号及该影像数据。

2.如权利要求1所述的光学复检系统，其特征在于，该控制模块电连接该光源模块，且该光源模块包含可调亮度的多个光源发生器，且各该光源发生器以不同的入射方向照射该承载区。

3.如权利要求1所述的光学复检系统，其特征在于，该控制模块包含输入接口。

4.如权利要求1所述的光学复检系统，其特征在于，该影像提取模块包含面型感光部件。

5.如权利要求1所述的光学复检系统，其特征在于，该待测物为电子基板。

6.一种光学复检系统的检测方法，其特征在于，用于对待测物表面的缺陷进行检测，包含：

提供工作平台、光源模块、影像提取模块、控制模块及显示模块，该显示模块电连接该控制模块；

令该光源模块发出第一光线照射该待测物，使该第一光线入射该待测物表面而反射出第二光线；以及

令该控制模块产生控制信号以动态地控制该工作平台、该光源模块与该影像提取模块的至少其中之一的动作，进而动态地改变该第二光线，该影像提取模块提取该第二光线而产生影像数据，该显示模块动态地显示该控制信号及该影像数据。

7.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于，该控制模块控制该光源模块的动作，且该光源模块包含可调亮度的多个光源发生器，且各该光源发生器以不同的入射方向照射该承载区。

8.如权利要求7所述的检测方法，其特征在于，该光源模块的动作通过该控制信号动态地调整这些光源发生器各自发出相对应的不同亮度的光线。

9.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于，该影像提取模块包含面型感光部件。

10.如权利要求6所述的检测方法，其特征在于，该待测物为电子基板。