[发明专利]一种多晶硅炉

权利要求书

1.一种多晶硅炉，其特征在于，包括耐热钢、六钛酸钾晶须隔热砖、加热装置、Al₂O₃耐火砖、坩埚和钢板组成，多晶硅炉的炉身的外壳为钢板，在钢板内层贴有六钛酸钾晶须隔热砖层，在隔热砖层内层还有Al₂O₃耐火砖层，并将坩埚置于多晶硅炉Al₂O₃耐火砖层构成的空腔内，在坩埚和Al₂O₃耐火砖层之间的空间内放置加热装置，在多晶硅炉的上方还设置了一个取料盖，取料盖是将六钛酸钾晶须隔热砖镶嵌在耐热钢中，直接盖在节能多晶硅炉的炉身上。

2.按照权利要求1的一种多晶硅炉，其特征在于，六钛酸钾晶须隔热砖的厚度为100～120mm，在隔热砖内部加入Al₂O₃耐火砖的厚度为35～50mm。

3.按照权利要求1的一种多晶硅炉，其特征在于，外壳钢板为低碳钢，其厚度是12～15mm。

4.按照权利要求1的一种多晶硅炉，其特征在于，六钛酸钾晶须隔热砖由质量比90～92％的六钛酸钾晶须和质量比8～10％的硅溶胶混合制成隔热砖，并经750～800℃焙烧2～3h而成。

5.按照权利要求1的一种多晶硅炉，其特征在于，耐热钢由质量比0.05-0.12%C、0.4-1.2%Si、0.3-0.8%Mn、19.0-23.0%Cr、0.4-0.6%Mo、30.0-34.0%Ni、1.9-2.2%Nb、0.8-1.2%Al、0.05-0.12%Ce、0.06-0.10%Mg、0.008-0.012%B、S<0.03%、P<0.04%和余量Fe组成的合金钢通过熔炼和铸造而成。

6.按照权利要求1的一种多晶硅炉，其特征在于，加热装置至少包括3个独立的加热器，分别位于坩埚外上、中、下，自坩埚的底部与坩埚同高将坩埚围住，每个独立的加热器均有独立的电源开关控制。

7.按照权利要求6的一种多晶硅炉，其特征在于，加热装置包括6-9个独立的加热器。