[发明专利]一种电子级三氯氢硅纯度评价装置有效
| 申请号： | 201210170915.8 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN103454377A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 刘柏年;王秉琳;刘刚;马波;武春青;李学峰;李春松 | 申请（专利权）人： | 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;C01B33/035 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 李艳华 |
| 地址： | 810006 青海省*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子 级三氯氢硅 纯度 评价 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子级三氯氢硅纯度评价装置，其特征在于：该装置包括底盘（6）及置于所述底盘（6）上的带有冷却水夹套的钟罩（3）、置于所述带有冷却水夹套的钟罩（3）内的钽丝（5）和穿过所述底盘（6）且连有电源的一对电极（8）；所述带有冷却水夹套的钟罩（3）的顶部分别设有吊耳（1）、钟罩冷却水出水口（2），其侧壁分别设有钟罩冷却水进水口（10）、视镜（11）；所述一对电极（8）通过所述钽丝（5）连接在一起；所述一对电极（8）的外侧分别设有反应气体进气管口（7）、反应气体出气管口（9），该进反应气体气管口（7）和反应气体出气管口（9）穿过所述底盘（6）与所述带有冷却水夹套的钟罩（3）腔体相通。
2.如权利要求1所述的一种电子级三氯氢硅纯度评价装置，其特征在于：所述视镜（11）设在所述带有冷却水夹套的钟罩（3）的中部，且位于所述钟罩冷却水进水口（10）的上方。
3.如权利要求1所述的一种电子级三氯氢硅纯度评价装置，其特征在于：所述反应气体进气管口（7）或所述反应气体出气管口（9）内的反应气体为纯度99.99999%的氢气和气化后的三氯氢硅。
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