[发明专利]电阻率量测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种电性量测装置，特别是关于一种电阻率量测装置。

背景技术

方块电阻又称薄膜电阻，为表征薄膜导电性能的物理量。薄膜的电阻及电阻均匀性与产品功能息息相关。一般采用四探针法进行量测，该方法原理简单，且为非破坏性的测量方式。

传统量测方法是将待测的产品，如ITO薄膜或玻璃等，置于工作平台上，然后通过测试人员将四探针量测仪的探针测试头垂直接触于产品需要量测的区域，待量测仪的读数稳定时，记录该读数作为此区域的表面阻抗。

这种传统电阻率量测方法由人工完成，测试效率较低且要耗费较高的人工成本。且不同测试人员在测量时手法和量测力度上会有所不同，导致量测的准确性受到影响。

发明内容

本发明提供一种自动化的电阻率量测装置，包括：一载物平台，用以承载被测产品；一入料传送机，该载物平台设于该入料传送机上，该入料传送机包括用以横向移动该载物平台的入料导轮组；一探针模组，用以对该被测产品进行电阻测试；一探针位置调节机构，设于该入料传送机上且连接该探针模组，用以升降及纵向移动该探针模组；一旋转机，连接该入料传送机，用以将该被测产品从入料端传送至出料端，且该旋转机可调整该被测产品于其上的传送方向；以及一控制器，分别与该入料传送机、探针模组、探针位置调节机构及旋转机电连接。

采用本发明，实现了自动检测电阻率，提高了量测效率、减少了人力成本。且相对于习知的手工量测方法，提高了量测的准确性。通过旋转机自动将量测不合格的产品送入收料机内，杜绝电阻值不合格的不良品流出。

附图说明

图1为本发明电阻率量测装置一较佳实施例的立体图；

图2为本发明电阻率量测装置一较佳实施例之探测段的立体图；

图3为图2所示探测段的主视图；

图4为图2所示探测段的左视图；

图5为图2所示探测段的俯视图；

图6为图1所示旋转机和收料机的立体图；

图7为图6所示旋转机的主视图；

图8为图7所示旋转机的左视图；

图9为图7所示旋转机的俯视图；

图10为图1所示电阻率量测装置中升降机构的局部示意图；

图11为探针位置调节机构和探针量测头之一较佳实施例的立体图；

图12为图11所示探针位置调节机构和探针量测头的主视图；

图13为设置在滑块上之探针量测头的立体图；

图14为图13所示设置在滑块上之探针量测头的主视图；

图15为图13所示设置在滑块上之探针量测头的左视图。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

图1为本发明电阻率量测装置一较佳实施例的立体图，如图1所示，本发明中的电阻率量测装置100主要包括：一载物平台110、一入料传送机120、一探针模组130(图1未标示)、一探针位置调节机构140、一旋转机160及一控制器。其中，载物平台110、入料传送机120、探针模组130及探针位置调节机构140共同组成探测段200(图1未标示)。

请参阅图2至图5，图2为本发明电阻率量测装置一较佳实施例中之探测段200的立体图，图3为图2所示探测段200的主视图；图4为图2所示探测段200的左视图；图5为图2所示探测段200的俯视图。如图2至图5所示，载物平台110设于入料传送机120上，用以承载被测产品，例如玻璃基板。入料传送机120包括用以在平面上横向移动载物平台110的入料导轮组122，其通过转动入料导轮组122，带动载物平台110横向移动。

探针位置调节机构140设于入料传送机120上，且连接用以对被测产品进行电阻量测的探针模组130。探针位置调节机构140用以在垂直方向上升降及水平方向上纵向移动该探针模组130。