[发明专利]非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统及清洁方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于非晶硅薄膜太阳能电池生产线中的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统及清洁方法。

背景技术

在非晶硅薄膜太阳能电池生产中，将TCO玻璃装入立式基片装载箱，加热到一定温度后使用PECVD法在TCO玻璃基片上沉积非晶硅薄膜，在沉积过程不可避免的会有非晶硅等颗粒附着于装载箱体内。PECVD过程是整个电池生产的关键步骤，装载TCO玻璃的基片装载箱必须保持洁净，否则将影响非晶硅膜层的质量进而影响整个太阳能电池的质量。一般基片装载箱在使用4~6次后必须彻底清洁一次。

目前基片装载箱的清洁一般采用人工清洁和机械清洁。由于基片装载箱结构的复杂性，铝板之间的间距非常小，清洁死角很多，清洁难度大。无论是采用人工还是机械方法清洁，都难以保证装载箱内的洁净。而将基片装载箱分拆清洁的方法，虽然可以保证清洁度，但工作量很大，影响工作效率，甚至可能减慢整个生产节拍。因此对基片装载箱清洁是PECVD工艺中不可忽略的难题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种能够方便地对非非晶硅薄膜太阳电池PECVD基片装载箱进行清洁、清洁效果好、效率高的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统及清洁方法。

本发明的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统包括有一个清洁箱，太阳能电池PECVD基片装载箱可安置在清洁箱上部，所述清洁箱的底部设置有杂质收集斗；所述清洁箱通过蒸汽管道与蒸汽发生装置连接，并可对清洁箱内进行蒸汽熏蒸；清洁箱上还设置有安装有泄压阀的排汽口；该系统还包括有一个可对熏蒸后的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱进行加热干燥的烘箱。

所述清洁箱的一侧设置有一个可打开的密封门，清洁箱内设置有可对非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱的送入进行导向的导轨。

所述杂质收集斗上方还设置有多孔钢板。

所述蒸汽发生装置包括有一个加热水箱，加热水箱内设置有电加热装置，加热水箱上设置有进水口和与所述蒸汽管道连接的蒸汽出口。

本发明的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁方法是：在上述的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统中，先将非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱安置在封闭的清洁箱中，由蒸汽发生装置通入水蒸汽加热熏蒸后，使硅膜杂质吸水而减小附着力并部分脱落；然后将非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱移出清洁箱冷却后，再将非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱移至烘箱中加热烘干；保温一定时间后再将非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱移出烘箱冷却，完成非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱的清洁。

本发明可以对装载箱进行蒸汽熏蒸、冷却、烘箱加热烘干、再冷却的交替处理，使附着在装载箱内壁的杂质形态因外部条件的交替变化而发生变形，从而自然剥落，简化了清洁过程、提高了清洁效率、改善了清洁效果。

附图说明

图1是本发明的清洁箱及熏蒸部分的结构示意图。

具体实施方式

如图所示，该非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁系统包括有一个清洁箱1，太阳能电池PECVD基片装载箱2可安置在清洁箱上部，清洁箱1的底部设置有杂质收集斗16；清洁箱1通过蒸汽管道3与蒸汽发生装置4连接，并可对清洁箱内进行蒸汽熏蒸；清洁箱上还设置有安装有泄压阀11的排汽口12；该系统还包括有一个可对熏蒸后的非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱进行加热干燥的烘箱（图中未给出）。清洁箱1的一侧设置有一个可打开的密封门13，清洁箱1内设置有可对非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱2的送入进行导向的导轨14。杂质收集斗16与太阳能电池PECVD基片装载箱之间还设置有多孔钢板15。

蒸汽发生装置4包括有一个加热水箱41，加热水箱内设置有电加热装置42，加热水箱上设置有进水口43和与所述蒸汽管道连接的蒸汽出口44。

本发明非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱清洁步骤是：先将非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱2安置在图1所示的清洁箱1中，通过蒸汽发生装置4通入水蒸汽加热熏蒸30－60分钟后，将非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱移出清洁箱自然冷却10分钟，再将非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱移至烘箱中加热至150℃，保温30分钟，再移出烘箱冷却，完成非晶硅薄膜太阳能电池PECVD基片装载箱的清洁。

该清洁过程中，先用水蒸汽熏蒸基片装载箱，高温水蒸气减小硅膜与装载箱之间的附着力，能去除一部分的硅膜杂质；然后高温烘干水分，使吸水的硅膜因失水而萎缩变形，从箱体上脱落。