[发明专利]一种化学机械平坦化浆料及其应用有效
申请号: | 201210172583.7 | 申请日: | 2012-05-30 |
公开(公告)号: | CN103450810B | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 徐春 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;C09G1/02 |
代理公司: | 北京大成律师事务所11352 | 代理人: | 李佳铭 |
地址: | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 机械 平坦 浆料 及其 应用 | ||
技术领域
本发明涉及一种化学机械平坦化浆料,更具体地说,涉及一种用于抛光硅和铜的化学机械平坦化浆料。
背景技术
IC制造工艺中平坦化技术已成为与光刻和刻蚀同等重要且相互依赖的不可缺少的关键技术之一。而化学机械抛光(CMP)工艺便是目前最有效、最成熟的平坦化技术。化学机械抛光系统是集清洗、干燥、在线检测、终点检测等技术与一体的化学机械平坦化技术,是集成电路(IC)向微细化、多层化、平坦化、薄型化发展的产物,是集成电路提高生产效率、降低成本、晶圆全局平坦化必备技术。CMP在IC制造领域应用广泛,抛光对象包括衬底、介质及互连材料等。其中金属CMP是90纳米以下芯片制造中器件和互连制造的关键工艺之一,是亚90纳米时代的研究热点。金属铜,铝,钨正在越来越多地应用于集成电路器件上的互连,必须通过化学机械抛光实现多层互连,因而开发出新一代的金属化学机械抛光液一直让业界关注。
目前,出现了一系列适合于抛光硅的化学机械抛光浆料,如:专利US 2002151252A1公开了一种用于硅CMP的组合物和方法,该专利存在的问题是铜抛光速率不足;专利US 200610014390A1公开了一种用于硅和金属的化学机械抛光浆料,该专利存在的问题是抛光后有明显缺陷;专利US 5860848公开了一种使用聚合体电解质的硅CMP的方法;专利CN 02114147.9公开了一种铜化学-机械抛光工艺用抛光液,该专利存在的问题是硅的抛光速率不足;专利CN 01818940.7公开了铜的化学机械抛光所用的浆料;专利CN 98120987.4公开了一种用于铜的CMP浆液制造以及用于集成电路的制造方法。但是随着3D封装技术不断成熟,硅通孔技术不断得到更多应用,同时抛光硅和铜的应用也越来越引起人们的重视。传统的铜抛光液使用过氧化氢为氧化剂,但是这种氧化剂会抑制硅的抛光。上述用于铜抛光的抛光液还存在去除速率不族的情况,或者衬底表面存在着缺陷、划伤、粘污和/或其它残留,或者是对铜的抛光选择性不够,或者是抛光过程中存在着局部或整体腐蚀等问题。因此有必要开发出新的适用于制程的化学机械抛光浆料。本发明公开了一种通过新的抛光体系同时抛光硅和铜的,并且控制金属材料的局部和整体腐蚀,减少衬底表面污染物,与以上专利有本质不同。
发明内容
本发明的化学机械平坦化浆料可以在通过抛光体系的作用同时控制硅和铜金属抛光速率,同时控制硅和金属的材料的局部和整体缺陷,减少衬底表面污染物,提高产品良率。
本发明的化学机械平坦化浆料包括研磨颗粒、氧化剂,抛光速率提升剂,腐蚀抑制剂,抛光表面改善剂和载体。
在本发明中,该研磨颗粒的浓度为2~50%,该氧化剂的浓度为0.1~10%,抛光速率提升剂的浓度为0.1~10%,腐蚀抑制剂的浓度为0.01~2%,抛光表面改善剂的浓度为0.01~2%,载体为余量,以上百分比均指占整个化学机械抛光浆料的总重量百分比。
本发明的研磨颗粒可以参照现有技术,优选氧化硅、氧化铝、氧化铈和/或聚合物颗粒,如聚乙烯或聚四氟乙烯,更优选氧化硅。
在本发明中,该研磨颗粒的尺寸较佳地为20~200nm,更佳地为30~100nm。
在本发明中,所述的氧化剂包括强氧化剂,优选地为无机过氧化物、过硫化物和单过硫化物、有机过氧化物、或除氟外的正价卤素氧化物形成的酸或所述酸的可溶盐中的一种或几种。优选地,卤素高价氧化物(除去氟)形成的酸或可溶盐中的一种或几种;包括高碘酸,高溴酸,高氯酸,碘酸钾,溴酸钾,氯酸钾,次碘酸钾,次溴酸钾,次氯酸钾等等,以及上述酸的铵盐中的一种或几种。
在本发明中,所述的抛光速率提升剂可为能够与硅以及铜表面反应形成易溶化合物的有机酸,有机碱,氨基酸,氨类化合物,有机瞵酸,有机磺酸中的一种或几种,优选地为柠檬酸、乙二胺、乙基磺酸、氨基三亚甲基膦酸和/或甘氨酸。抛光速率提升剂还可以进一步包含含-NH结构的氨类化合物,例如唑类,胍类等等。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造