[发明专利]使用合金材料的声光器件有效
申请号: | 201210176147.7 | 申请日: | 2012-05-31 |
公开(公告)号: | CN102681218A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 张泽红;刘玲;何晓亮;刘伟;胡少勤;赵科;刘光聪;米佳;陆川;罗传英 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | G02F1/11 | 分类号: | G02F1/11 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 李海华 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 合金材料 声光 器件 | ||
技术领域
本发明涉及声光器件,尤其涉及一种激光系统用且适合长期在低温下工作的声光器件。
背景技术
声光器件是一种利用入射光与换能器的超声波发生声光互作用,得到衍射光。衍射光的能量是从入射光转移过来的。
在制作声光器件时,为了将换能器和声光介质焊接在一起,在声光介质和换能器之间使用了两层电极层和一层键合层。电极层厚度约为50nm,通常用高纯铬来制作(即铬膜),其属于声学薄层,对声波的传输损耗非常小,可以忽略不计,但是铬膜能与包括铌酸锂和氧化碲在内的很多非金属材料附着牢固,通过铬膜能提高键合层附着在声光介质和换能器上的附着力。键合层较厚,使用键合层的目的是把声光介质和换能器焊接在一起,同时让换能器产生的超声波顺利传输到声光介质内。
键合层通常采用纯锡。纯锡长期存放在低于13.2℃的环境中会出现灰锡问题,即从β-Sn相转变成了α-Sn相。α-Sn相的晶格结构和Si一样,它是一种半导体而不是金属,并具有本征脆性,进而丧失了其使用价值,灰锡转变就是我们所常说的“锡瘟”,因此使用纯锡做键合层的声光器件不适合长期在低温下存放和工作。
用纯锡作键合层材料,在长时间贮存或使用过程中,键合层上会自发生长出一些类似胡须一样的丝状物,业界称之为“锡须”。锡须的生长常常会使晶体管管脚间短路而造成器件失效。例如美国的银河4号卫星就是由于其内部电路中锡须短路导致其功能失效的。因此,使用纯锡做键合层的声光器件,随着存放或工作时间的增加,其失效的风险也随之增加。
发明内容
针对上述问题,本发明提供一种适合长期在低温下存放和稳定工作的声光器件。
为了实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:
使用合金材料的声光器件,包括声光介质和换能器,在该声光介质和换能器之间安装有电极层,该电极层为两层,在该两层电极层之间安装有键合层,所述换能器输入端面上安装表电极,其特征在于,所述键合层的材料为锡铟银合金或锡铟合金。
所述锡铟银合金中,锡的质量百分比为80%~90%,银的质量百分比为2%~12%,铟的质量百分比为3~13%。
所述锡铟合金中,锡的质量百分比为85%~95%,铟的质量百分比为5%~15%。
所述键合层的厚度为1微米~5微米。
所述声光介质的材料为氧化碲晶体、磷化镓晶体、磷化铟晶体、钼酸铅晶体、铌酸锂晶体、石英晶、融石英或重火石玻璃。
所述换能器材料为铌酸锂晶体。
本发明的积极效果:
采用锡合金代替纯锡做为声光器件的键合层材料,避免在低温下发生“灰锡”问题;同时还避免了在长时间贮存或使用过程中产生“锡须”的问题,低温下声光器件的性能稳定可靠。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1所示,使用合金材料的声光器件,包括声光介质1和换能器4,在该声光介质1和换能器4之间安装有电极层2,该电极层2为两层,在该两层电极层2之间安装有键合层3,所述换能器4输入端面上安装表电极5,键合层3的材料为锡铟银合金或锡铟合金。
经过试验分析,锡铟银合金和锡铟合金是最适合做键合层3的合金材料。锡铟银合金中,锡的质量百分比为80%~90%,银的质量百分比为2%~12%,铟的质量百分比为3~13%。所述锡铟合金中,锡的质量百分比为85%~95%,铟的质量百分比为5%~15%。
作为优先,锡铟银合金中,锡的质量百分比为85%,银的质量百分比为7%,铟的质量百分比为8%;锡铟合金中,锡的质量百分比为90%,铟的质量百分比为10%。
所述声光介质1的材料为氧化碲晶体、磷化镓晶体、磷化铟晶体、钼酸铅晶体、铌酸锂晶体、石英晶、融石英或重火石玻璃。
换能器4选用具有压电效应的材料:铌酸锂晶体。
换能器4产生的声波要通过键合层3向声光介质1内传输,传输的效率与键合层3的厚度有关。键合层3太厚,阻碍声波的传输,键合层3太薄,不能将换能器4牢固地焊接在声光介质1上;通常情况下,键合层3的厚度控制在1微米~5微米范围内比较合适。
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