[发明专利]直接光驱动扫描微镜

权利要求书

1.一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连，微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连；每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜，可动镜片与2个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连。

2.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的微驱动器采用微加工技术制成，基于双金属效应，由多层材料，如硅，二氧化硅，金属，金属氧化物等组成。

3.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的可动镜片的机械偏转角度为(0-45)度。

4.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的平面弹簧采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅等组成。

5.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的可动镜片采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅等组成。表面镀有高反射率薄膜。

6.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的可动镜片的反射波长为(300-1550)纳米。

7.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜，其特征在于：所述的微透镜采用微加工技术制成，具有低热阻。