[发明专利]振动元件及其制造方法、振子、电子装置及电子设备

权利要求书

1.一种压电振动元件，其特征在于，具备：

压电基板，其包括振动区域、及与所述振动区域一体化且比所述振动区域的厚度厚的厚壁部；

激励电极，其分别被配置在所述振动区域的表面和背面；

引线电极，其以从所述激励电极延伸至所述厚壁部上的方式而设置，

所述厚壁部以将所述振动区域的一部分开放的方式而具备：

第一厚壁部和第二厚壁部，其隔着所述振动区域而配置；

第三厚壁部，其连接设置在该第一厚壁部和该第二厚壁部的基端部之间，

所述第二厚壁部具备：

倾斜部，其厚度随着从与所述振动区域连接设置的一侧端缘朝向另一侧端缘离开而增加；

厚壁主体，其与所述倾斜部的所述另一侧端缘连接设置，

在所述第二厚壁部上设置有狭缝。

2.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

所述振动区域为矩形，

所述振动区域的四条边中的一条边被开放。

3.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

所述狭缝沿着所述倾斜部与所述厚壁主体的边界部，而被配置在所述厚壁主体上。

4.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

所述狭缝从所述振动区域的一条边离开而被配置在所述倾斜部内。

5.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

所述狭缝具备：

第一狭缝，其被配置在所述厚壁主体上；

第二狭缝，其从所述振动区域的一条边离开而被配置在所述倾斜部内。

6.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

所述振动区域的一个主面与所述第一厚壁部、所述第二厚壁部和所述第三厚壁部各自的一个面位于同一平面内。

7.如权利要求1所述的压电振动元件，其特征在于，

所述压电基板为如下的水晶基板，即，

将由构成水晶的结晶轴的、作为电轴的X轴、作为机械轴的Y轴、和作为光学轴的Z轴形成的直角坐标系中的所述X轴作为中心，

而将使所述Z轴向所述Y轴的－Y方向倾斜预定的角度而成的轴设定为Z’轴，

并将使所述Y轴向所述Z轴的＋Z方向倾斜所述预定的角度而成的轴设定为Y’轴，

所述水晶基板由与所述X轴和所述Z’轴平行的面构成，

且以与所述Y’轴平行的方向为厚度方向，

并且以与所述X轴平行的边为长边，

以与所述Z’轴平行的边为短边。

8.如权利要求7所述的压电振动元件，其特征在于，

所述水晶基板为AT切割水晶基板。

9.一种压电振动元件的制造方法，其特征在于，包括：

在压电基板的表背面中的一个面上设置包含振动区域的凹陷部的工序；

将包含所述凹陷部的一部分的所述压电基板去除，而形成包含振动区域及狭缝的外形形状的工序，所述振动区域具有所述凹陷部的一部分被开放的厚壁部；

在包含所述振动区域的表背面的预定的区域内形成电极的工序。

10.一种压电振子，其特征在于，具备：

权利要求1所述的压电振动元件；

封装件，其对该压电振动元件进行收纳。

11.一种电子装置，其特征在于，

在封装件内具备权利要求1所述的压电振动元件、及电子部件。

12.如权利要求11所述的电子装置，其特征在于，

所述电子部件为可变容量元件、热敏电阻、电感器、电容器中的任一种。

13.一种电子装置，其特征在于，

在封装件内具备权利要求1所述的压电振动元件、及对该压电振动元件进行激励的振荡电路。

14.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求10所述的压电振子。