[发明专利]一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置有效

专利信息
申请号: 201210180785.6 申请日: 2012-06-04
公开(公告)号: CN102664157A 公开(公告)日: 2012-09-12
发明(设计)人: 王永彬;王毅 申请(专利权)人: 扬州扬杰电子科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/02
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 225008 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 二极管 酸处理 震荡 冲洗 装置
【权利要求书】:

1.一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,所述二极管酸处理后设置在酸洗盘上,其特征在于,所述震荡冲洗装置包括底座、冲洗头、水槽和震荡装置,所述酸洗盘设在所述水槽上,所述冲洗头设在所述酸洗盘上方;

所述震荡装置设在所述水槽的一侧,所述震荡装置包括振子、支架和弹簧,所述振子设在所述支架上部中间位置;

所述支架具有支撑板和立板,相互间构成L形;所述支撑板水平地设在所述水槽的内侧、且高于所述水槽顶缘高度;所述酸洗盘的外侧搁置在所述水槽的外侧顶缘、内侧搁置在所述支撑板朝向所述水槽的顶缘上,使得所述酸洗盘倾斜设在所述水槽和支撑板之间;

所述弹簧活动设在所述支撑板的下部。

2.根据权利要求1所述的一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,其特征在于,还包括限位机构,所述限位机构包括导向螺栓组件和一对限位板;所述导向螺栓组件穿过所述弹簧、连接所述支撑板;所述限位板具有水平的顶板,所述一对限位板设在所述支撑板的两侧、其顶板的底面贴合所述支撑板的顶面。

3. 根据权利要求1所述的一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,其特征在于,所述支撑板朝向所述水槽的顶缘设有凸边,所述凸边为梯形,使得所述酸洗盘倾斜设置在所述凸边上。

4.  根据权利要求1所述的一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,其特征在于,所述震荡装置的立板铰接在底座上。

5.  根据权利要求1所述的一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,其特征在于,还包括限位槽,所述立板的底部设在所述限位槽内,用于限制所述支架前后移动。

6. 根据权利要求1所述的一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,其特征在于,在所述酸洗盘的两侧设有凹槽或凸筋。

7.  根据权利要求1所述的一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,其特征在于,所述振子的震荡频率为5-15次/秒,振幅为0.1-0.5mm。

8.  根据权利要求1所述的一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置,其特征在于,所述酸洗盘的倾斜角度为5~30°。

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