[发明专利]用于光刻设备的工件台位置误差补偿方法

权利要求书

1.   一种用于光刻设备的工件台位置误差补偿方法，其特征在于，包括：

步骤一、设置旋转台的旋转角度为零，并与水平向运动台保持固定的位置关系，水平向运动台沿着运动轨道运动，在硅片上套刻曝光，读取曝光标记偏差，计算各曝光场的旋转角度；

步骤二、根据所述各曝光场的旋转角度，拟合由所述运动轨道扭转引入的旋转角度；

步骤三、使所述工件台先后沿第一方向和与第一方向垂直的第二方向运动，测量工件台的旋转角度；

步骤四、根据所述工件台的旋转角度，拟合获得由缩放效应引入的旋转角度；

 步骤五、根据所述工件台的旋转角度、所述运动轨道扭转引入的旋转角度与缩放效应引起的旋转角度，计算方镜面形引起的旋转角度，从而对工件台位置误差进行补偿。

2.如权利要求1所述的工件台位置误差补偿方法，其特征在于，所述步骤二中根据所述曝光场的旋转角度，拟合因所述运动轨道扭转引入的旋转角度的具体计算公式为：                                                ，

其中，Rzx_rm、Rzy_rm为所述运动轨道扭转引入的的旋转角度，a_r、b_r、c_r、d_r为拟合系数。

3.如权利要求1所述的工件台位置误差补偿方法，其特征在于，所述步骤四中所述缩放效应引入的旋转角度的具体计算公式为：

   ，，

其中，Rzx_scale、Rzy_scale为由缩放效应引入的旋转角度，a_s、b_s、c_s、d_s为拟合系数。

4.如权利要求1所述的工件台位置误差补偿方法，其特征在于，所述计算方镜面形引起的旋转角度的具体计算公式为：

，

其中，Rzx_meas、Rzy_meas为由所述工件台的旋转角度，Rzx_rm、Rzy_rm为所述运动轨道扭转引入的的旋转角度，Rzx_mm、Rzy_mm为方镜面形引入的旋转角度，Rzx_scale、Rzy_scale为由缩放效应引入的旋转角度。

5.如权利要求1所述的工件台位置误差补偿方法，其特征在于，还包括步骤六：重复执行步骤一至五，直至测量结果收敛。