[发明专利]一种用于运动台误差定位误差校准的方法

权利要求书

1.一种用于运动台误差定位误差校准的方法，其特征在于，包括：

步骤一：利用干涉仪于第一起始位置以一定步长测量所述运动台的反射镜面的面形，获得第一组面形数据，所述步长为所述干涉仪的间距；

步骤二：重复执行步骤一，每次起始位置与前一次起始位置的间距大于零且小于所述步长，获得多组面形数据，得到所述运动台的反射镜面的完整面形数据，计算面形误差；

步骤三、结合所述面形误差，采用插值处理所述完整面形数据获得一面形残差；

步骤四、对所述面形残差进行滤波获得一最终面形数据；

步骤五、利用所述最终面形数据，在运动台控制系统进行伺服控制时，提前补偿反射镜面型数据。

2.如权利要求1所述的用于运动台误差定位误差校准的方法，其特征在于，所述面形误差包括平移误差和旋转误差。

3.如权利要求2所述的用于运动台误差定位误差校准的方法，其特征在于，所述平移误差y(x)由以下公式获得：

其中，                  ，                   ，

m2(x)和m3(x)分别为干涉仪的测量结果，函数M(x)为连续函数，用于描述位置x点处待测平面形貌，d为所述步长。

4.如权利要求2所述的用于运动台误差定位误差校准的方法，其特征在于，所述旋转误差Rzy(x) 由以下公式获得：

其中，                  ，                   ，

m2(x)和m3(x)分别为干涉仪测量结果，函数M(x)为连续函数，用于描述位置x点处待测平面形貌，d为所述步长。

5.如权利要求1所述的用于运动台误差定位误差校准的方法，其特征在于，所述插值处理的方法为线性样条插值方法、牛顿插值方法或者斯特林插值方法。

6.如权利要求1所述的用于运动台误差定位误差校准的方法，其特征在于，所述步骤三具体为采用线性样条插值方法进行处理，设第i次采样结果为f(xi)，则经样条序列S插值后的面形结果为：

其中线性样条插值系数为

        、                 。

7.如权利要求6所述的用于运动台误差定位误差校准的方法，其特征在于，所述面形残差即所述样条插值面形结果与所述完整面形数据的相减之差。

8.如权利要求1所述的用于运动台误差定位误差校准的方法，其特征在于，对所述面形残差res进行滤波所采用的方法为：    

                                                               。