[发明专利]调整MEMS陀螺仪以减小热变偏移

权利要求书

1.一种用于校准微机电系统(MEMS)振动结构陀螺仪的方法，该方法包括：

获得至少一个检测质块相对于至少一个驱动电极的位置的指示；以及

根据所述指示，向所述至少一个检测质块施加静电力，所述静电力被配置为将所述至少一个检测质块定位在相对于所述至少一个驱动电极的第一位置。

2.一种振动结构陀螺仪，该陀螺仪包括：

具有至少一个第一梳的至少一个检测质块，所述至少一个检测质块具有与感应轴正交布置的平面结构；

具有至少一个第二梳的至少一个驱动电极，所述至少一个第二梳被配置成与所述至少一个第一梳啮合；

第一电极，面向所述至少一个检测质块的第一侧，和第二电极，面向所述至少一个检测质块的第二侧，其中，所述至少一个检测质块的第一侧和第二侧与感应轴正交；和

控制电路，被配置为：

向第一电极施加第一直流(DC)电压，且向第二电极施加第二DC电压，以便相对于所述至少一个驱动电极的至少一个梳沿所述感应轴的位置调整所述至少一个检测质块的至少一个梳沿所述感应轴的位置。

3.一种用于校准微机电系统(MEMS)振动结构陀螺仪的方法，该方法包括：

向至少一个驱动电极施加测试信号；

向至少一个检测质块系统地施加不同的测试静电力；

测量所述至少一个驱动电极和所述至少一个检测质块之间的电容，以获得与不同测试静电力相对应的多个电容；

选择不同静电力中的第一静电力，所述第一静电力对应于所述电容中的最大电容；并在所述至少一个检测质块的操作期间，向所述至少一个检测质块施加第一静电力。