[发明专利]微纳热电偶探针的制备装置

权利要求书

1.一种微纳热电偶探针的制备装置，包括：上部开口的箱体、滑槽、操纵杆、机械爪、电化学腐蚀模块、洗涤干燥模块和绝缘层包覆模块，所述箱体的上部设有一滑槽，操纵杆与滑槽可滑动的连接，操纵杆与机械爪固定连接，所述电化学腐蚀模块、洗涤干燥模块和绝缘层包覆模块依次设置在箱体的底部上。

2.根据权利要求1所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：所述机械爪能够在垂直方向伸缩，所述滑槽的方向为水平方向。

3.根据权利要求1所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：还包括探针夹具，所述机械爪通过该探针夹具夹持探针。

4.根据权利要求3所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：所述探针夹具包括固定部和可滑动部，其中固定部上设有电极，所述探针伸入位于固定部和可滑动部之间的凹槽中，探针与电极接触，可滑动部的外表面设有一调整可滑动部位置的旋钮。

5.根据权利要求3所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：所述探针夹具包括用于固定探针的夹持臂。

6.根据权利要求3所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：所述电化学腐蚀模块包括电源、控制电路、导线、第一金属架和装有电化学腐蚀溶液的第一容器，所述电源的正极和负极分别与控制电路电连接，所述控制电路的正极与第一金属架电连接，探针夹具固定在第一金属架上，探针夹具的电极分别与第一金属架和探针的一端接触，探针的另一端伸入电化学腐蚀溶液中，控制电路的负极连接导线的一端，该导线的另一端伸入电化学腐蚀溶液中；所述控制电路用于控制电化学腐蚀过程的进行和停止。

7.根据权利要求6所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：所述电化学腐蚀模块还包括连接所述电源的电流显示模块，用于显示电流值。

8.根据权利要求1所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：所述洗涤干燥模块包括第一导管、第二导管和第二容器，所述第一导管用于通入纯净水洗涤探针上残留的电化学腐蚀溶液，所述第二导管用于通入干燥气体将探针吹干，所述第二容器用于回收液体。

9.根据权利要求3所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：所述绝缘层包覆模块包括步进电机、电机滑块、滚珠滑块、第二金属架、装有聚合物溶液的第三容器、中心轴和电机丝杆，其中电机丝杆与步进电机相连，电机滑块套在电机丝杆上，滚珠滑块套在中心轴上，滚珠滑块与电机滑块固定连接，中心轴与电机丝杆平行，探针夹具通过第二金属架与滚珠滑块固定连接，使探针在聚合物溶液的界面处上下移动。

10.根据权利要求9所述微纳热电偶探针的制备装置，其特征在于：所述绝缘层包覆模块还包括底部的干燥剂存储箱。