[发明专利]一种提高快速Id-Vg测试精度的测试系统

权利要求书

1.一种提高快速I_d-V_g测试精度的测试系统，其特征在于：在原I_d-V_g测试系统中，将原有的高频探针上添加一个50 Ω的片状电阻，组成一个高频信号加载探针；在原有的电源探针上添加一个10 μF的片状电容器，组成一个新的电源探针。

2.根据权利要求1所述的提高快速I_d-V_g测试精度的测试系统，其特征在于：所述高频信号加载探针由一个50 Ω片状电阻，其一端接触原高频探针上大片的金属接触面，另一端接触原高频探针针芯而构成；所述新的电源探针由一个10 μF的片状电容器，其一端接触原电源探针上大片的金属接触面，另一端接触电源原探针针芯而构成。

3.一种用于提高快速I_d-V_g测试系统测试精度的高频信号加载探针，其特征在于将原有的高频探针上添加一个50 Ω的片状电阻而组成，所述50 Ω片状电阻的一端接触原高频探针上大片的金属接触面，另一端接触高频原探针针芯。

4.一种用于提高快速I_d-V_g测试系统测试精度的新的电源探针，其特征在于在原有的电源探针上添加一个10 μF的片状电容器而组成，所述10 μF的片状电容器的一端接触原电源探针上大片的金属接触面，另一端接触电源原探针针芯。