[发明专利]一种激光探测系统会聚光斑质量测试方法

权利要求书

1.一种激光探测系统会聚光斑质量测试方法，包括光斑形状对称性测量，将光斑分为四个象限，并分别将四个象限的光信号转换为电信号，光斑形状对称性计算如下

η=1-max{(S1-S2),(S1-S3),(S1-S4),(S2-S3),(S2-S4),(S3-S4)}(S1+S2+S3+S4)]]>

式中，S1、S2、S3和S4分别为四个象限输出的电压值。

2.一种激光探测系统会聚光斑质量测试方法，包括光斑尺寸的测量：将光斑从中心沿x方向移到S2、S3恰好达到最小，S1、S4恰好达到最大的位置，记录此时转动角度θ₁，同理反方向测得θ₂；继续转动使得光斑移出，即S1、S4恰好达到最小的位置，记录此时转动角度θ₃，同理反方向测得θ₄；S1、S2、S3和S4分别为四个象限输出的电压值，所述电压值由四象限探测组件输出；若四象限探测器光敏面半径为R，计算光斑x方向尺寸r

r=|θ2-θ1||θ4-θ3|-|θ2-θ1|R]]>

同理，y方向移动光斑，得到光斑y方向尺寸。

3.一种激光探测系统会聚光斑质量测试方法，包括光斑能量不均匀性测量，所述光斑能量不均匀性为最大偏差电压S_wmax与总输出电压之比，最大偏差电压S_wmax指光斑按照一定的步长在x方向移动时的电压变化与光斑均匀时的理想移动电压变化间的最大差值。