[发明专利]用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置

权利要求书

1.一种用于硅片加工设备的过滤桶冲洗装置，其特征在于，包括支架、设置于所述支架底部的浆料回收装置、设置于所述支架中上部的用于支撑待冲洗过滤桶的支撑装置、与所述支撑装置连接的传动系统以及设置在所述浆料回收装置和所述支撑装置之间的碎硅片回收装置；在所述碎硅片回收装置的底部连接有用于过滤浆料的滤网；所述传动系统上设置有位于所述支架外部的手柄，以便通过旋转所述手柄带动所述支撑装置和所述过滤桶转动；所述过滤桶冲洗装置进一步包括用于冲洗所述过滤桶的高压水枪。

2.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，在所述支架外部设置有防止水溅出的挡板。

3.根据权利要求2所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述挡板为透明塑料挡板。

4.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述传动系统包括主动皮带轮、从动皮带轮以及相配合的皮带，所述主动皮带轮与所述从动皮带轮设置在同一水平面上，所述手柄连接在所述主动皮带轮上，所述从动皮带轮上连接有竖直设置的转轴。

5.根据权利要求4所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，在所述转轴上设置有至少一个轴承，并在轴承的两侧设置有轴套，以便固定所述轴承的轴向位置，所述轴承的外部套有定位套，所述定位套与所述支架固定连接。

6.根据权利要求4所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述手柄的转动轴线与所述转轴的转动轴线垂直，在所述手柄和所述主动皮带轮之间进一步设置有转向装置。

7.根据权利要求4所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述支撑装置包括中部开有孔的托盘，所述托盘的上方连接有桶架，所述转轴贯穿所述托盘的开孔与所述桶架固定连接。

8.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述碎硅片回收装置为抽屉，在所述滤网的下方连接有带有多个孔的平板。

9.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述浆料回收装置的开口向上，在所述浆料回收装置的底部设置有车轮。

10.根据权利要求1所述的过滤桶冲洗装置，其特征在于，所述支架由多个钢管焊接而成。