[发明专利]喷墨喷头的检查方法及装置

说明书

本申请是申请号为200880005764.2，申请日为2008年2月21日，发明名称为“喷墨涂布装置的清洗方法”的中国专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种具备有喷墨记录喷头(以下称为“喷墨喷头”)的喷墨涂布装置的清洗方法、喷嘴检查方法、涂布控制方法、及成膜方法，特别涉及一种用以将在喷墨喷头的喷嘴面及其周边所附着的脏污、碎屑、杂质等去除的清洗方法、喷嘴检查方法、涂布控制方法、及成膜方法。

另外，本说明书中的喷墨喷头，没有特别的限定，是具备有单一或多个喷嘴的喷墨喷头。

背景技术

喷墨记录装置中，为了维持高品质的记录质量，便必须将在喷墨记录喷头的油墨吐出面所残留油墨、杂质等予以去除。

专利文献1中揭示有，使擦拭刮板相对向于喷头的油墨吐出面，通过进行擦拭动作来清洗的方法中，为了提升清洗性能，便关于擦拭刮板的材质、角度、接触方式等进行研究。

专利文献2中揭示有，相对吐出口在所述刮板清洗的回复操作方向的下游侧设置油墨吸收用狭缝，将经所述刮板刮取的油墨利用具有平行于多个吐出口且狭缝状设置的抽吸口的油墨吸收用狭缝，吸取所述油墨以提升性能的方法等。

在专利文献3中揭示有，从喷雾器喷嘴朝喷墨喷头的喷嘴及其周边吹出而施行所述喷嘴面的洗净之后，将附着于喷墨喷头的喷嘴及其周边的洗净液利用刮板进行刮除等。

专利文献4中揭示有，配向膜的液滴吐出方法，使具有以既定间距排列的多个喷嘴的喷墨喷头，对衬底进行相对移动，而从所述喷嘴将配向膜的液滴吐出于所述衬底上的方法，其中，所述喷墨喷头对所述衬底相对移动的方向，是对所述衬底中构成格子状的像素排列方向，呈既定角度倾斜。

专利文献5中揭示有，薄膜形成装置，包括有：分别具有以一定间隔排列的多个喷嘴，具备有单一或多个喷墨喷头的喷头支撑构造体；以及具有在这些多个喷嘴排列方向的正交方向上，可在这些多个喷嘴之间进行相对移动的衬底搬送平台的衬底搬送机构；而从所述多个喷嘴将薄膜形成用溶液喷射于在所述衬底搬送平台上所搭载的衬底表面上，而施行涂布并形成薄膜的非接触式薄膜形成装置；其特征在于具备有：至少内部设有所述衬底搬送平台、喷墨喷头、及将所述喷头支撑构造体包含于内部的作为喷射涂布成膜室的真空糟；以及为了能在减压环境下施行喷射涂布成膜，而将所述真空槽内部施行减压的减压手段。

专利文献6中揭示有，配向膜形成方法，具备有：使用喷墨喷嘴将配向膜材料以液滴进行滴落，通过该滴落的液滴图案，检查所述喷墨喷嘴异常的检查步骤；以及当在该检查步骤判断液滴图案在既定范围内时，便使所述喷墨与衬底相对向，并使用所述喷墨喷嘴将配向膜材料以液滴滴落在该衬底上而成的配向膜的成膜步骤。

专利文献7中揭示有，装置的制造方法，包括有对衬底的图案形成区域，从液滴吐出喷头吐出液体材料的步骤的装置的制造方法；其特征在于包括有：对除所述图案形成区域以外的既定区域吐出所述液体材料的冲洗步骤。

专利文献1：日本特开2004-291364号公报

专利文献2：日本特开2004-42571号公报

专利文献3：日本特开2002-19132号公报

专利文献4：日本特开2006-320839号公报

专利文献5：日本特开2006-289355号公报

专利文献6：日本特开2006-058772号公报

专利文献7：日本特开2003-282245号公报

发明内容

(发明所欲解决的问题)

本发明的目的在于提供一种可解决后述技术问题的喷墨涂布装置的清洗方法、喷嘴检查方法、涂布控制方法、及成膜方法。

(解决问题的手段)

第1发明是喷墨喷头的清洗方法，其特征在于，将喷墨喷头的洗净区域，利用具有洗净液供应口与抽吸口的单元构件覆盖，并通过从抽吸口作用抽吸力，从与抽吸口相对向的洗净液供应口，朝洗净区域喷射洗净液来加以洗净。

第2发明是，在第1发明中，在所述洗净后，使喷墨喷头与单元构件仅稍微离开，通过对单元构件作用抽吸力，来使喷墨喷头的洗净区域干燥。

第3发明是，在第1或2发明中，洗净液是使用由具有使液材溶解的因子的溶剂所构成的液体。

第4发明是喷墨喷头的检查方法，使从喷墨喷头具有的喷嘴所喷射出的液材，滴落于检查用构件，并根据滴落的液滴图案检查所述喷嘴异常；所述喷墨喷头的检查方法的特征在于，所述检查用构件是由液材滴落处与非滴落处的反射率不同的材料来构成。