[发明专利]使用质量流量计的封装NO的设备

权利要求书

1.一种用于将气态NO/N₂混合物封装到至少一个容器中的设备，包括：

-气态NO源(1)，

-气态氮气源(2)，

-至少一个充填系统(3)，该充填系统包括用于气体容器(25)的一个或多个充填站(24)，

-将气态NO源(1)流体连接到充填系统(3)的第一气体管线(11)，以及

-将气态氮气源(2)流体连接到充填系统(3)的第二气体管线(12)，

其特征在于：

-气态NO源(1)包含NO和氮气的气态预混合物，以及

-第一气体管线(11)和第二气体管线(12)分别包括一质量流量计(4，5)，每个质量流量计(4，5)连接(14，15)到与每个质量流量计(4，5)协作的控制装置(6)。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，NO源(1)包含由NO和N₂构成的气态预混合物，该气态预混合物含有按体积计算小于10％的NO含量，该预混合物优选地含有按体积计算小于或等于5％的NO含量。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，第一气体管线(11)和第二气体管线(12)通过一共用管线部分(13)流体连接到充填系统(3)。

4.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，共用管线部分(13)分支成多个分部(13a-13c)。

5.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，该设备包括气体冲洗管线(20)，所述气体冲洗管线(20)将第二气体管线(12)流体连接(在20a处)到向至少一个系统(3)供应气体的共用部分(13)的下游部分(在20b处)和/或流体连接到第一气体管线(11)的上游部分(在20c处)。

6.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，气体冲洗管线(20)将第二气体管线(12)流体连接(在20a处)到向多个充填系统(3)供应气体的分部(13a-13c)。

7.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述控制装置(6)从每个质量流量计(4，5)接收表示通过每个质量流量计(4，5)的气体质量的气体质量信号。

8.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述控制装置(6)设计成使用并且能够使用表示通过每个质量流量计(4，5)的气体质量的所述气体质量信号，以便于计算一个或多个目标质量设定点。

9.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述控制装置(6)作用于一调节阀(31)，以控制向所述系统(3)行进的气体的流量，并且用于当达到至少一个质量设定点时使气流停止。

10.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述控制装置(6)还作用于一旁通阀(30)，所述旁通阀(30)优选地并行于调节阀(31)安装，以便于增加向所述系统(3)行进的气体的流量。

11.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述控制装置(6)包括计算机或控制器。

12.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，排空管线(20)流体连接到共用管线部分(13)或分部(13a-13c)。

13.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，排空管线(20)包括通向大气(34)的出口，和/或流体连接到包括真空泵(32)的泵送管线(36)。

14.根据前述权利要求之一所述的设备，其特征在于，所述封装系统(3)包括允许一次连接多个容器(25)、优选地是1-20个气罐的连接构件。

15.用于将NO/N₂气态混合物封装到一个或多个气体容器(25)中的方法，该方法中，使用根据前述权利要求之一所述的设备来充填气体容器(25)，进入气体容器(25)中的NO和N₂的比例使用质量流量计(4，5)来确定。