[发明专利]基于半导体碳纳米管的级联红外光探测器

权利要求书

1.一种基于半导体碳纳米管的级联器件作为红外光探测器的用途，所述级联器件以半导体碳纳米管作为吸光材料和导电通道，半导体碳纳米管的两端是非对称的金属电极：一端为钯电极，另一端为钪或钇电极；在所述非对称的金属电极之间的导电通道上具有n-1个虚电极对，将导电通道分为串联在一起的n个单元器件；所述虚电极对由连在一起的钯虚电极和钪或钇虚电极组成，其中钯虚电极在靠近钪或钇电极一侧，钪或钇虚电极在靠近钯电极一侧，n为大于1的正整数；将所述非对称的金属电极中的一个接地，另一个与电压测量电路或者电压表连接；当红外光照射该级联器件时，所述半导体碳纳米管吸收红外光，产生的光电压信号由所述电压测量电路或电压表测得。

2.如权利要求1所述的用途，其特征在于，所述半导体碳纳米管是单根的半导体碳纳米管，或者是由多根半导体碳纳米管平行排列构成的碳纳米管薄膜。

3.如权利要求1或2所述的用途，其特征在于，所述半导体碳纳米管是本征半导体碳纳米管。

4.如权利要求1或2所述的用途，其特征在于，所述单元器件的导电通道长度为1～2微米。

5.如权利要求1或2所述的用途，其特征在于，所述虚电极对中的钯虚电极和钪或钇虚电极之间部分重叠。

6.如权利要求1或2所述的用途，其特征在于，所述级联器件由一层能透过红外光的氧化物或者有机封装材料包覆。

7.如权利要求6所述的用途，其特征在于，所述氧化物是氧化铪或氧化硅。

8.如权利要求6所述的用途，其特征在于，所述有机封装材料是聚甲基丙烯酸甲酯。