[发明专利]一种电磁阀

权利要求书

1.一种电磁阀，包括主阀体（1）和设在主阀体上的先导阀（2），其特征在于：所述先导阀包括外壳（21）、设在外壳中的微机电驱动部件、以及封住外壳的密封盖（23），所述外壳上设有一个低压进气口（211），在低压进气口两侧分别设有一个出气口（212），所述低压进气口通过低压进气管（3）与主阀体的S管（11）连通，所述出气口通过切换导流管（4）分别连通至主阀体阀腔的两端，所述密封盖上设有高压进气口（231），所述高压进气口通过高压进气管（5）与主阀体的D管（12）连通，所述微机电驱动部件控制实现将高压进气口和低压进气口分别连通的出气口进行切换。

2.根据权利要求1所述的一种电磁阀，其特征在于：所述微机电驱动部件包括层叠的前半导体层（24）、中半导体层（25）和后半导体层（26），所述前半导体层、中半导体层和后半导体层均与外壳密封配合，所述前半导体层上设有与所述高压进气口对应连通的前高压进气导流口（241），所述中半导体层上设有与所述前高压进气导流口对应连通的后高压进气导流口（251），所述后半导体层上设有与所述低压进气口对应连通的低压进气导流口（261）以及与出气口对应连通的切换导流口（262），所述后高压进气导流口中设有将低压进气口和其中一个切换导流口连通并将后高压进气导流口与另外一个切换导流口连通的动作件（27）。

3.根据权利要求2所述的一种电磁阀，其特征在于：所述动作件为半导体导动片，所述半导体导动片上设有将低压进气导流口和其中一个切换导流口连通的流道（271），所述半导体导动片沿后高压进气导流口横向移动到位后将低压进气导流口和另外一个切换导流口连通。

4.根据权利要求3所述的一种电磁阀，其特征在于：所述半导体导动片包括横片（272）、竖杆（273）和鱼骨状结构（274），所述横片在后高压进气导流口中横向滑移，所述流道设在横片上，所述中半导体层上位于后高压进气导流口下方的部分设有供竖杆摆动的凹槽（252），所述鱼骨状结构受电变形牵引竖杆摆动使横片横向滑移。

5.根据权利要求2或3或4所述的一种电磁阀，其特征在于：所述前半导体层、中半导体层和后半导体层均为碳化硅板。

6.根据权利要求2或3或4所述的一种电磁阀，其特征在于：所述微机电驱动部件还包括与前半导体层电连接的电源连接端（28），所述电源连接端穿出所述密封盖。

7.根据权利要求6所述的一种电磁阀，其特征在于：所述电源连接端为导电片或引线。