[发明专利]锍化合物、光致产酸剂及抗蚀剂组合物

权利要求书

1.由下式(1)表示的锍化合物：

[化学式1]

其中在式(1)中，

X表示给电子基团；

R₁和R₂各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R₁和R₂可与同R₁键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；

R₄至R₆各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R₄和R₅可与同R₄键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；

R₃表示选自亚环烯基、亚杂环烯基、亚芳基和亚杂芳基中的任意一种；且

^-A表示阴离子。

2.权利要求1的锍化合物，其中^-A表示选自磺酸根阴离子、酰亚胺阴离子、甲基化物阴离子、卤代烷基阴离子、羧酸根阴离子、碘鎓阴离子和磺酰亚胺阴离子中的任意一种。

3.权利要求1的锍化合物，其中^-A表示选自由下式(1-1)、(1-2)和(1-3)表示的阴离子中的任意一种：

[化学式1-1]

其中在式(1-1)中，

Q₁、Q₂、Q₃和Q₄各自独立地表示选自氢原子、卤素原子和烷基中的任意一种；

Y₁表示选自亚烷基、亚烯基、NR′、S、O、CO及其组合中的任意一种，R′表示选自氢原子和烷基中的任意一种；

Y₂表示选自氢原子、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基、杂烷基、烯丙基、全氟烷基、卤代烷基和烷基磺酰基中的任意一种；

n表示0至10的整数，m表示0至10的整数，且l表示0至5的整数；

[化学式1-2]

其中在式(1-2)中，

Y₃和Y₄各自独立地表示选自亚烷基、亚烯基、NR′、S、O、CO、O₂S及其组合中的任意一种，R′表示选自氢原子和烷基中的任意一种；

Y₅和Y₆各自独立地表示选自氢原子、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基、杂烷基、烯丙基、全氟烷基、卤代烷基和烷基磺酰基中的任意一种；

o表示0至5的整数，且p表示0至5的整数；和

[化学式1-3]

其中在式(1-3)中，

Y₇、Y₈和Y₉各自独立地表示选自氢原子、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基、杂烷基、烯丙基、全氟烷基、卤代烷基和烷基磺酰基中的任意一种。