[发明专利]直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法

权利要求书

1.一种在直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法，其特征在于，以图像行格式压缩，每次检查1×N灰度图数据，以计算机识别的长度bit位数为单位，每个单位数由标示数和计数值构成，标示数用以说明压缩的全白或者全黑或者相同灰度数据，计数值用以说明相同灰度数据的计数，其它灰度数据则不进行压缩；

具体包括以下步骤：

假设N=4；计算机识别的长度bit位数=16bit；

(1)读取一行灰度图数据，建立压缩缓冲区；

(2)压缩入行起始标准HEX数为0xE1E0；

(3)取出1×4灰度图数据，保存，计数cnt清零；

(4)全白检测，是计数cnt加1，重复取出1×4灰度图数据作全白检测，直至不是全白或者计数cnt大于15，则压缩入0xF1F0+cnt；

(5)全黑检测，是计数cnt加1，重复取出1×4灰度图数据作全黑检测，直至不是全黑或者计数cnt大于15，则压缩入0xF1E0+cnt；

(6)对灰度数据的高12bit依次进行检查，是0xF1F或者是0xF1E或者是0xE1F或者是0xE1E0，则设置标示数sing为0x0100，否则标示数sing为0x0000；

(7)把读取到的灰度数据与上一个保存的灰度数据比较，不同转下一个步骤；相同则计数cnt加1，重复取出1×4灰度图数据作相同检测，直至是不相同或者计数cnt大于15，则保存的数据先与标示数sing求异或后压入，再压缩入0xE1F0+cnt；

(8)压缩入保存的数据先与标示数sing求异或的数；

(9)重复步骤（3）～（8），直至一行灰度数据检查完；

(10)一行灰度数据压缩完毕，依次向下扫描压缩图像数据，重复步骤（1）～（9），直至全部图像数据压缩完。

2.根据权利要求1所述的在直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法，其特征在于，所述的N可以取值4～8。

3.根据权利要求1所述的在直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法，其特征在于，所述的计算机识别的长度bit位数可以是16bit、32bit、64bit。

4.根据权利要求1所述的在直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法，其特征在于，所述的单位数由标示数和计数值构成，可以标示数在前计数值在后，也可以标示数在后计数值在前。