[发明专利]基板搬运装置及方法、电子零件安装机及安装方法

说明书

技术领域

本发明涉及搬运基板的基板搬运装置及具备该基板搬运装置的电子零件安装机。另外，本发明涉及搬运基板的基板搬运方法及具有该基板搬运方法的电子零件安装方法。

背景技术

在专利文献1、2中公开了用于识别基板的停止位置的方法。根据专利文献1的方法，基板在制动位置和停止位置分别被进行定点拍摄。即，搭载于能够移动的机械手的光学传感器首先移动至能够对制动位置进行拍摄的位置而对基板进行拍摄。接着，机械手移动至能够对停止位置进行拍摄的位置而对基板进行拍摄。

根据专利文献2的方法，在停止位置处对基板进行定点拍摄。即，在基板的停止位置的下方配置有CCD（Charge-Coupled Device）相机。利用该CCD相机而从下方对基板进行拍摄。在专利文献2的第[0044]段中记载有：也可以将CCD相机配置成能够移动，以适应基板规格的多样性。

专利文献1：日本特表2002-517104号公报

专利文献2：日本特开2006-278714号公报

专利文献3：日本特开2009-27202号公报

这样一来，在专利文献1、2中已公开了通过光学传感器或CCD相机识别基板的停止位置的内容。另外，公开了以能够移动的方式配置光学传感器或CCD相机的内容。

但是，在专利文献1、2中，没有公开关于基板的实际的停止位置（以下适当地称为“实际停止位置”）偏离预先设定的停止位置（以下适当地称为“预定停止位置”）时的对策。在这一点上，根据专利文献3的方法，能够对基板的停止位置的位置偏差进行修正。即，在基板的搬运路径的基准位置配置有基板传感器。当通过基板传感器而获知基板已通过基准位置时，首先，相机移动至该基板的预定停止位置。接着，相机对停止的基板的标记进行拍摄。当拍摄的结果为基板的实际停止位置偏离预定停止位置时，修正基板的位置。这样一来，根据专利文献3的方法，不仅能够识别基板的停止位置，还能够修正停止位置的位置偏差。

然而，在专利文献3的方法中，可考虑到基板的标记未进入到相机的视野的情况。即，基板被带式输送机从基准位置搬运到停止位置。另一方面，相机在预定停止位置等待基板。当基板相对于传送带打滑时，实际停止位置相对于预定停止位置向基板的前进方向的后方（搬运方向上游侧）相应程度地偏离。当偏差量较大时，导致基板的标记不会进入到相机的视野。因此，导致不能对停止位置的位置偏差进行修正。

发明内容

本发明的基板搬运装置、电子零件安装机、基板搬运方法、电子零件安装方法是鉴于上述问题而提出的。本发明的目的在于提供基板搬运装置、电子零件安装机、基板搬运方法及电子零件安装方法，即使在实际停止位置相对于预定停止位置的偏差量较大时，也能够对停止位置的位置偏差进行修正。

（1）为解决上述问题，本发明的基板搬运装置的特征在于，具备：搬运基板的搬运体；移动检测机构，一边识别所搬运的所述基板一边进行移动；位置传感器，输出与所述移动检测机构的位置相关的位置信号；及控制装置，基于所述位置信号控制所述搬运体，并使所述基板停止在预先设定的停止位置。

根据本发明的基板搬运装置，移动检测机构一边移动一边持续监视搬运中的基板。即，如专利文献1～3所记载的相机或传感器那样，移动检测机构始终在监视搬运中的基板。因此，即使在基板相对于搬运体的位置偏差较大时，也就是说即使在实际停止位置相对于预定停止位置的偏差量较大时，也能够对停止位置的位置偏差进行修正。

另外，根据本发明的基板搬运装置，可以一边搬运基板一边对停止位置的位置偏差进行修正。因此，与专利文献3的方法（在使基板暂时停止在实际停止位置之后，使基板再次移动预定停止位置和实际停止位置之间的偏差量（修正量）的方法）相比，到达预定停止位置的搬运时间变短。

（2）优选为，在上述（1）的结构中，具备基准检测机构，所述基准检测机构输出与所述基板到达基准位置相关的基准信号，其中，所述基准位置在所述基板的搬运路径上比所述停止位置靠近上游侧，所述控制装置使所述移动检测机构待机，使得在所述基板到达所述基准位置时所述基板的标记进入到可检测区域，并基于所述基准信号使所述移动检测机构开始移动。