[发明专利]一种光学检测装置与光学检测方法

权利要求书

1.一种光学检测装置，其特征在于，包括：

一加载器，该加载器包括一储存柜与一取放台，该储存柜储存有多个被检测对象；

一缓冲台；

多个检测台，所述的检测台是用以检测所述的被检测对象；及

一机械手臂；

其中，该加载器可将该储存柜中的被检测对象加载至该取放台或将该取放台上的被检测对象加载至该储存柜中，该机械手臂用以使该被检测对象于该取放台、该缓冲台、与各检测台之间移动。

2.如权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述被检测对象为LED晶圆。

3.如权利要求1或权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述机械手臂是藉由一枢轴而枢接在该光学检测装置上。

4.如权利要求3所述的光学检测装置，其特征在于，所述取放台、缓冲台、与所述的检测台是环绕着所述枢轴。

5.如权利要求1或权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述的检测台、取放台、与缓冲台的至少其中之一是可于垂直方向上进行升降。

6.如权利要求5所述的光学检测装置，其特征在于，所述检测台在水平上的位置可被调整。

7.如权利要求1或权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述机械手臂可在垂直方向上进行升降。

8.如权利要求1或权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，当所述光学检测装置进行检测时，执行下述的步骤：

将所述的被检测对象从该储存柜中传送至该取放台，再从该取放台传送到所述的检测台上进行检测，直到每一检测台皆放置有该被检测对象；

当所述检测台皆在进行检测时，将另一被检测对象从该储存柜中传送至该取放台上后，再传送至该缓冲台上放置；

当其中一被检测对象检测完毕后，将检测完毕的该被检测对象传送至该取放台，并将该缓冲台上的被检测对象传送至具有空缺的该检测台上进行检测；及

将位于该取放台上的该被检测对象传送至该储存柜中。

9.如权利要求1或权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，当所述光学检测装置进行检测时，执行下述的步骤：

将所述的被检测对象从储存柜中传送至该取放台，再从该取放台传送到所述的检测台上进行检测，直到每一检测台皆放置有该被检测对象；

当所述检测台皆在进行检测时，将另一被检测对象从该储存柜中传送至该取放台上；

当其中一被检测对象检测完毕后，将检测完毕的该被检测对象传送至该缓冲台，并将位于该取放台上的被检测对象传送至具有空缺的该检测台上进行检测；及

将位于该缓冲台上的该被检测对象传送至该取放台，并传送至该储存柜中。

10.一种光学检测方法，其特征在于，所述光学检测方法是利用一光学检测装置来检测多个被检测对象，该光学检测装置包括一加载器、一缓冲台、多个检测台、与一机械手臂，该加载器包括一储存柜与一取放台，所述的被检测对象在检测前是储存于该储存柜中，该光学检测方法包括：

将所述的被检测对象从该储存柜中传送至该取放台，再从该取放台传送到所述的检测台上进行检测，直到每一检测台皆放置有该被检测对象；

当所述检测台皆在进行检测时，将另一被检测对象从该储存柜中传送至该取放台上后，再传送至该缓冲台上放置；

当其中一被检测对象检测完毕后，将检测完毕的该被检测对象传送至该取放台，并将该缓冲台上的被检测对象传送至具有空缺的该检测台上进行检测；及

将位于该取放台上的该被检测对象传送至该储存柜中。

11.如权利要求10所述的光学检测方法，其特征在于，所述被检测对象为LED晶圆。