[发明专利]键合设备上的双路拾片翻转机构

权利要求书

1.一种键合设备上的双路拾片翻转机构，其特征在于，包括：

固定座，固定于所述键合设备上；

用于拾取并运载芯片的第一拾取机构，安装于所述固定座上；

用于拾取并运载芯片的第二拾取机构，安装于所述固定座上；

用于带动所述第一拾取机构和所述第二拾取机构运动的换位机构，使位于拾片位置或交片位置的第一拾取机构和位于交片位置或拾片位置的所述第二拾取机构交换位置。

2.根据权利要求1所述的键合设备上的双路拾片翻转机构，其特征在于，所述换位机构包括：

连接部件，可相对旋转的设置于所述固定座上，所述第一拾取机构、所述第二拾取机构分别通过连接部件安装于所述固定座上，所述第一拾取机构、所述第二拾取机构分别固定于所述连接部件上，通过所述连接部件的旋转，位于拾片位置或交片位置的第一拾取机构和位于交片位置或拾片位置的所述第二拾取机构交换位置。

3.根据权利要求2所述的键合设备上的双路拾片翻转机构，其特征在于，所述连接部件的旋转轴线垂直于所述固定座的面向所述连接部件的面。

4.根据权利要求3所述的键合设备上的双路拾片翻转机构，其特征在于，所述连接部件为菱形的翻转板，所述第一拾取机构、所述第二拾取机构分别安装于所述翻转板的两端，所述翻转板的中部可旋转的安装于所述固定座上。

5.根据权利要求4所述的键合设备上的双路拾片翻转机构，其特征在于，所述第一拾取机构包括：

第一Z向驱动装置，固定于所述翻转板的一端；

第一吸头组件，安装于所述第一Z向驱动装置上，通过第一Z向驱动装置的驱动，所述第一吸头组件可以相对所述翻转板Z向移动；

用于吸取所述芯片的第一吸头，安装于所述第一吸头组件上。

6.根据权利要求5所述的键合设备上的双路拾片翻转机构，其特征在于，所述第二拾取机构包括：

第二Z向驱动装置，固定于所述翻转板的另一端；

第二吸头组件，安装于所述第二Z向驱动装置上，通过第二Z向驱动装置的驱动，所述第二吸头组件可以相对所述翻转板Z向移动；

用于吸取所述芯片的第二吸头，安装于所述第二吸头组件上。