[发明专利]测试分选机用拾放装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在测试分选机中抓持半导体元件之后使半导体元件移动到所要求的位置的拾放装置。

背景技术

测试分选机是将经过预定的制造工艺制造的多个半导体元件从用户托盘(CUSTOMER TRAY)装载(LOADING)到测试托盘(TEST TRAY)之后，支援装载到测试托盘的多个半导体元件使其能够被测试器(TESTER)测试(TEST)，并根据测试结果将半导体元件按等级进行分类，再将半导体元件从测试托盘卸载(UNLOADING)到用户托盘的设备，已被多个公开文献公开。

测试分选机中除了上述的用户托盘或测试托盘之外，还设有形成在装载部的直线对准器(ALIGNER)或用于保管和搭载多余的半导体元件的缓冲器(BUFFER)、在本申请人的在先申请的技术(韩国专利申请10-2006-0007763号，发明名称：测试分选机和测试分选机的装载方法)中进行了介绍的气动式装载台、形成在卸载部的选料台(SORTING TABLE)等用于搭载或排列半导体元件的多个搭载单元或排列单元。

本发明涉及为了在如上所述的互不相同的单元(用户托盘、测试托盘、直线对准器、缓冲器、气动式装载台、选料台)中的某两个单元之间移送半导体元件，从一侧单元抓持半导体元件之后向另一个单元移动半导体元件的拾放装置(PICK AND PLACE APPARATUS)。通常情况下，当拾放装置形成在装载部时，将其称为装载器或装载臂，当拾放装置形成在卸载部时，将其称为卸载器或卸载臂。

目前公开的拾放装置具有为了抓持多个半导体元件而排列成2×4、1×8、2×8或4×8矩阵形态的8个、16个或32个拾取器(PICKER)。这里，在拾放装置中设置排列成多个行的拾取器的理由在于增加单次可移送的半导体元件的个数，从而缩短装载或卸载所需的时间。通常情况下，考虑到单次移动处理量和多个拾取器的轻量和小型化，主要采用2×8矩阵的结构。并且，在这种情况下，两个拾取器成为一组而构成一个拾取器模块(在4×8矩阵形态的情况下，四个拾取器成为一组而构成一个拾取器模块)。

通常，用户托盘为了保管而搭载多个半导体元件，因此为了能够抓持尽可能多的半导体元件，构成为使被抓持的半导体元件之间的间隔最小；测试托盘为了使被搭载的多个半导体元件确保测试所需的间隔，构成为半导体元件之间的间隔大于在用户托盘上的间隔。即，测试托盘上的多个半导体元件之间的间隔大于用户托盘上的多个半导体元件之间的间隔。因此，当将多个半导体元件从用户托盘装载到测试托盘，或者从测试托盘卸载到用户托盘时，有必要调整多个半导体元件之间的间隔。进一步来讲，不仅在用户托盘或测试托盘之间，在直线对准器或缓冲器、气动式装载台、选料台等多个搭载单元之间存在半导体元件的移动时，根据需要有必要实现多个半导体元件之间的间隔调整。

这种半导体元件的间隔调整由拾放装置来实现。即，通过拾放装置从一侧搭载单元抓持多个半导体元件之后，将多个半导体元件之间的间隔调整为所要求的间隔，然后将半导体元件移动到另一侧搭载单元进行搭载来实现。

因此，拾放装置中设有用于调整多个拾取器模块之间的间隔的间隔调整装置。

在拾放装置中调整多个半导体元件之间的间隔的方式有凸轮方式(参照韩国专利公开10-1999-0038981号，背景技术1)和连结方式(参照韩国专利公告10-0648919号)，本发明涉及凸轮方式。

但是，根据背景技术1，由于拾取器模块之间的间隔调整仅由最小和最大这两个等级构成，因此当测试的半导体元件的大小有变化时，需要更换间隔调整用凸轮部件，以使其符合变换的半导体元件，导致繁琐。为了解决这种问题，提出了如韩国专利公开10-2006-0062796号(发明名称：半导体元件测试分选机的元件搬送装置)的技术(背景技术2)。

背景技术2使用伺服电机，使得形成有倾斜的间隔调整用凸轮槽的凸轮板能够移动到任意的位置，从而可以将多个拾取器模块之间的间隔任意地调整。即，当需要测试的半导体元件的大小有变化时，背景技术2通过改变伺服电机的控制信号，可以改变多个半导体元件之间的间隔(多个拾取器模块之间的间隔)。

但是，根据背景技术2，也伴随如下的问题。

第一，因为伺服电机昂贵，导致设备的单位生产成本上升(大致一个测试分选机中至少具有两个拾放装置)。

第二，如果工作现场的操作者不熟悉对伺服电机的控制值的变更操作或失误，则不能实现所期望的间隔调整。

第三，因为具有很重的伺服电机(包含附属的滑轮等)，导致拾放装置的惯性增加，从而难以控制移动。

发明内容