[发明专利]光强分布的检测系统有效

专利信息
申请号: 201210192085.9 申请日: 2012-06-12
公开(公告)号: CN103487143A 公开(公告)日: 2014-01-01
发明(设计)人: 姜开利;朱钧;冯辰;范守善 申请(专利权)人: 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
主分类号: G01J1/58 分类号: G01J1/58
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100084 北京市海淀区清*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 分布 检测 系统
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种光强分布的检测系统,尤其涉及一种基于碳纳米管阵列的光强分布的检测系统。

背景技术

光源所发出的光在哪个方向(角度)上传播以及强度大小统称为“光强分布”。

光强分布的测量方法基本分为两种:一种是把传感器放在距样品一定距离的地方,所述传感器在样品周围同心分布的若干点移动并进行测量,即可测量光强的分布;另一种是把测量装置放在距样品不同的距离处测量光强的分布,所述测量装置由一个CCD传感器和一个具有类似鱼眼镜头的超广角棱镜的光学系统组成。

目前,检测光强分布的传感器主要分为两大类:光子传感器(制冷型)和热传感器(非制冷型)。光子传感器具有灵敏度高、响应速度快的优点,然而,光子传感器需要液氮制冷、成本较高、且可探测的光波波段较窄。热传感器成本较低、可探测的光波波段较宽、且可在室温下操作,但是,热传感器存在灵敏度较低、分辨率低的缺点。

发明内容

有鉴于此,确有必要提供一种光强分布的检测系统,该检测系统具有较高的灵敏度和分辨率,且可以检测较宽的光波波段。

一种光强分布的检测系统,包括一碳纳米管阵列和一成像元件,该碳纳米管阵列具有一第一表面及一与该第一表面相对设置的第二表面,所述碳纳米管阵列放置于一惰性环境或真空环境中;所述成像元件与碳纳米管阵列的第二表面间隔设置。

与现有技术相比,本发明提供的检测系统中,碳纳米管阵列作为光强分布的感测元件,由于碳纳米管是一种优异的热敏性和光敏性材料,且其对光(尤其是红外光)具有很宽的波长响应范围和很高的吸收率,因此,本发明提供的光强分布的检测系统具有很高的灵敏度,且可检测的光波波长范围很广。其次,由于碳纳米管阵列的导热性能具有各向异性,即,热量几乎只沿着碳纳米管的轴向传导,不沿径向传导,因此,本发明提供的检测系统具有很高的分辨率。

附图说明

图1为本发明实施例提供的光强分布的检测系统的结构示意图。

图2为本发明实施例提供的利用所述检测系统检测光强分布的光路系统示意图。

图3为本发明实施例提供的光强分布的检测系统中所采用的碳纳米管阵列的扫描电镜照片。

主要元件符号说明

碳纳米管阵列10第一表面102第二表面104碳纳米管12,12A,12B第一端122第二端124支撑体14光束16成像元件18腔室20检测系统24

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

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